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陈琦
作品数:
3
被引量:6
H指数:1
供职机构:
天津理工大学电子信息工程学院
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发文基金:
天津市重点科技攻关项目
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
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合作作者
陈发亮
天津理工大学电子信息工程学院
沈锋英
天津理工大学电子信息工程学院
常明
天津理工大学电子信息工程学院
曲长庆
天津理工大学电子信息工程学院
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机构
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天津理工大学
作者
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陈琦
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常明
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陈发亮
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曲长庆
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天津理工大学...
年份
2篇
2008
1篇
2007
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大面积金刚石薄膜沉积系统的研究
被引量:1
2008年
介绍热丝化学气相沉积(HFCVD)法沉积大面积金刚石膜的设备的原理和设计,设备主要包括真空系统、水冷系统、热丝架、供气系统以及电路系统,给出了该设备的性能指标参数.该设备可以用于沉积高质量的大面积金刚石膜,沉积的金刚石薄厚膜直径最大可达220mm,膜沉积速率为1~2μm/h.
陈琦
常明
曲长庆
陈发亮
沈锋英
关键词:
金刚石膜
HFCVD
系统设计
金刚石膜电极电化学氧化石油污水的研究
被引量:5
2008年
用BDD(掺硼金刚石)作电极,采用循环电解法处理石油污水,研究了电解时间、槽电压及电极间距对有COD(化学需氧量)降解率的影响,实验发现在槽电压8 V、电极间距2 mm,经过5h电解废水的COD降解率达到了93.9%,并且做了阴极替换实验,最后对COD的降解机理做了分析.
沈锋英
常明
陈琦
陈发亮
关键词:
BDD电极
槽电压
电流效率
热丝化学气相沉积制备大面积金刚石薄膜工艺的研究
由于金刚石薄膜有许多特殊而优越的性质,长期以来人类一直对它进行各种性质研究,以期充分利用。近年来,化学气相沉积金刚石的研究取得了很大进展,在某些方面已达到了实用阶段。同时,金刚石生长机理方面也有了一些初步认识。由于热丝法...
陈琦
关键词:
金刚石薄膜
热丝化学气相沉积
掺硼
薄膜生长
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