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陈琦

作品数:3 被引量:6H指数:1
供职机构:天津理工大学电子信息工程学院更多>>
发文基金:天津市重点科技攻关项目更多>>
相关领域:电子电信一般工业技术更多>>

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇热丝
  • 2篇金刚石薄膜
  • 1篇电化学
  • 1篇电化学氧化
  • 1篇电极
  • 1篇电流效率
  • 1篇石油污水
  • 1篇热丝化学气相...
  • 1篇污水
  • 1篇系统设计
  • 1篇膜电极
  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇金刚石膜电极
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇化学氧化
  • 1篇刚石
  • 1篇薄膜生长
  • 1篇BDD电极

机构

  • 3篇天津理工大学

作者

  • 3篇陈琦
  • 2篇常明
  • 2篇沈锋英
  • 2篇陈发亮
  • 1篇曲长庆

传媒

  • 2篇天津理工大学...

年份

  • 2篇2008
  • 1篇2007
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
大面积金刚石薄膜沉积系统的研究被引量:1
2008年
介绍热丝化学气相沉积(HFCVD)法沉积大面积金刚石膜的设备的原理和设计,设备主要包括真空系统、水冷系统、热丝架、供气系统以及电路系统,给出了该设备的性能指标参数.该设备可以用于沉积高质量的大面积金刚石膜,沉积的金刚石薄厚膜直径最大可达220mm,膜沉积速率为1~2μm/h.
陈琦常明曲长庆陈发亮沈锋英
关键词:金刚石膜HFCVD系统设计
金刚石膜电极电化学氧化石油污水的研究被引量:5
2008年
用BDD(掺硼金刚石)作电极,采用循环电解法处理石油污水,研究了电解时间、槽电压及电极间距对有COD(化学需氧量)降解率的影响,实验发现在槽电压8 V、电极间距2 mm,经过5h电解废水的COD降解率达到了93.9%,并且做了阴极替换实验,最后对COD的降解机理做了分析.
沈锋英常明陈琦陈发亮
关键词:BDD电极槽电压电流效率
热丝化学气相沉积制备大面积金刚石薄膜工艺的研究
由于金刚石薄膜有许多特殊而优越的性质,长期以来人类一直对它进行各种性质研究,以期充分利用。近年来,化学气相沉积金刚石的研究取得了很大进展,在某些方面已达到了实用阶段。同时,金刚石生长机理方面也有了一些初步认识。由于热丝法...
陈琦
关键词:金刚石薄膜热丝化学气相沉积掺硼薄膜生长衬底
文献传递
共1页<1>
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