高晓童
- 作品数：6 被引量：8H指数：2
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 热激励硅谐振式压力传感器的研制被引量：4
- 2004年
- 介绍了基于表面微加工工艺和多孔硅牺牲层技术,设计并制作出梁膜一体化的热激励硅谐振梁压力传感器,给出了制作的工艺过程和参数,测试了传感器在真空中开环状态下的谐振频率-压力特性及幅频特性,其灵敏度达到54 89Hz/kPa,Q值大于20000,0～300kPa范围内线性相关系数为0 9997。
- 高晓童崔大付陈德勇王利王蕾
- 关键词：谐振梁压力传感器多孔硅热激励牺牲层
- 热激励硅谐振梁压力传感器闭环数据采集系统被引量：3
- 2003年
- 利用正反馈闭环谐振原理 ,采用偏置交流激振、一倍频拾振的方法 ,设计了闭环谐振电路和相应的数据采集电路 ,并对该电路进行了综合调试 .实验结果表明 ,该系统实现了该传感器频率信号的自动跟踪和信号转换 ,以及快速、准确采集压力数据的功能 ,采集频率范围为 30～ 10 0kHz ,频率采集精度为± 1Hz,温度采集精度为 0 0 3℃ .
- 范兆岩崔大付陈德勇高晓童
- 关键词：数据采集系统
- 热激励氮化硅谐振梁压力传感器的设计与制作
- 该文介绍了作者设计、制作的一种谐振梁式压力传感受器.从弹性列车长学角度对传感器的特性进行了理论分析;并用有限元方法,建立计算机模型,分析了不同材料、结构对梁的振支和敏感性的影响.依据分析结果,选择氮化硅作为梁材料,采用梁...
- 高晓童
- 关键词：谐振梁压力传感器多孔硅微电子机械系统
- 文献传递
- 一种半岛型结构谐振梁压力传感器被引量：1
- 2003年
- 提出了一种新型结构压力传感器 ,器件由上下两硅片键合而成 ,上硅片制作半岛型结构氮化硅谐振梁 ,下硅片制作矩形压力膜。应用有限元软件对器件结构及灵敏度进行了计算机模拟分析 ,器件利用MEMS技术研制并采用电热激励压阻拾振方式进行了测试。
- 陈德勇崔大付高晓童范兆岩王利
- 关键词：谐振梁压力传感器微电子机械系统有限元模拟
- 一种半岛型结构谐振梁压力传感器
- 提出了一种新型结构压力传感器,器件由上下两硅片键合而成,上硅片制作半岛型结构氮化硅谐振梁,下硅片制作矩形压力膜.应用有限元软件对器件结构及灵敏度进行了计算机模拟分析,器件利用MEMS技术研制并采用电热激励压阻拾振方式进行...
- 陈德勇崔大付高晓童范兆岩王利
- 关键词：谐振梁压力传感器微电子机械系统有限元模拟灵敏度
- 文献传递
- 用多孔硅牺牲层技术制作热激励硅谐振梁压力传感器
- 谐振式传感器精度高、响应快、长期稳定性好,应用前景十分广阔.本文介绍了作者基于MEMS工艺和多孔硅技术,设计并制作出的一体化的热激励硅谐振梁压力传感器,给出了制作的工艺过程和参数,在开环状态下的测得该传感器在0~300K...
- 高晓童崔大付陈德勇王利王蕾
- 关键词：谐振梁压力传感器MEMS多孔硅热激励
- 文献传递
