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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇氧化锌薄膜
  • 1篇结构特性
  • 1篇光致
  • 1篇光致发光
  • 1篇发光
  • 1篇发光特性
  • 1篇MOCVD
  • 1篇MOCVD方...

机构

  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇彭小滔
  • 1篇刘丽萍
  • 1篇傅竹西
  • 1篇贾云波
  • 1篇林碧霞
  • 1篇祝杰

传媒

  • 1篇发光学报

年份

  • 1篇2001
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
MOCVD方法生长的氧化锌薄膜及其发光特性被引量:31
2001年
近年来 ,随着近紫外光发射氧化锌薄膜研究的进展 ,许多先进的薄膜生长手段被广泛采用。本文探索了用MOCVD方法在硅衬底上生长氧化锌薄膜的方法 ,试验了用几种不同的有机金属源生长ZnO薄膜 ;研究了源材料及生长压力和温度对薄膜生长的影响 ;观察了样品的室温光致发光光谱。通过与溅射方法生长的ZnO薄膜的比较 ,提出了影响材料结构和发光特性的可能原因。
傅竹西林碧霞祝杰贾云波刘丽萍彭小滔
关键词:结构特性光致发光MOCVD发光特性
共1页<1>
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