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吴功航

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：天津师范大学物理与电子信息学院更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇电弧离子镀
  • 1篇多弧离子镀
  • 1篇色泽
  • 1篇离子镀
  • 1篇TIN薄膜

机构

  • 1篇天津师范大学

作者

  • 1篇李洪玉
  • 1篇路少怀
  • 1篇吴功航
  • 1篇刘野
  • 1篇黄美东

传媒

  • 1篇电镀与精饰

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
电弧离子镀不同色泽TiN薄膜的工艺研究被引量：2
2013年
采用电弧离子镀的方法,在硅片上制备TiN仿金装饰膜层,主要研究氮气分压和基体偏压两个工艺参数对TiN薄膜色泽的影响。结果表明,氮气压强对TiN薄膜的色泽有明显的影响和控制作用。随着氮气分压的增大,薄膜的色泽由浅黄色向红棕色变化。实验发现,基体偏压对膜层的色泽也有一定的影响,当氮气分压一定时,施加偏压所得TiN薄膜比不施加的颜色更浅。可见,通过调节基体偏压和氮气流量,可以获得所需颜色的TiN薄膜。
刘野黄美东路少怀吴功航李洪玉
关键词：多弧离子镀TIN薄膜色泽
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