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周洁

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：西安交通大学更多>>
发文基金：中国博士后科学基金国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇对比度
  • 1篇凸起
  • 1篇莫尔条纹
  • 1篇纳米
  • 1篇光栅

机构

  • 1篇华中科技大学
  • 1篇西安理工大学
  • 1篇西安交通大学

作者

  • 1篇王莉
  • 1篇卢秉恒
  • 1篇周洁
  • 1篇魏慧芬
  • 1篇王权岱

传媒

  • 1篇中国科学：技...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
利用优化材料的凸起光栅标记提高莫尔条纹图像的对比度被引量：2
2013年
在基于莫尔条纹相位匹配的纳米压印对准方案中,因阻蚀胶引入引起压印对准标记光栅副间隙介质的改变,使得莫尔条纹图像的对比度下降,恶化了压印对准精度.针对这一问题,本文提出了利用优化的标记材料来制备凸起光栅标记从而提高莫尔条纹图像对比度的方法.该方法为提高莫尔条纹图像对比度,通过FDTD(有限时域差分)软件,对玻璃模板及硅片基底上采用的光栅标记材料及光栅副间隙进行了优化计算,在采用常规压印阻蚀胶(折射率为1.6)、压印模板与基底间间隙为200nm、且光栅标记为凸起时,优化光栅标记材料为:玻璃模板上光栅标记为折射率2.0的ITO;基底下光栅标记为折射率2.7的Cr.实验结果表明:在光栅副的间隙介质分别为折射率1.6的阻蚀胶和折射率1.3的水时,采用优化材料的凸起光栅标记(周期为6和6.1μm的光栅副)得到的莫尔条纹图像的对比度与原标记相比分别提高了11.92%和4.66%.
王莉魏慧芬王权岱周洁卢秉恒
关键词：对比度
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