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唐佳丽
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华东理工大学
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相关领域:
电子电信
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核科学技术
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合作作者
于新海
华东理工大学
涂善东
华东理工大学
陆荣华
华东理工大学
杨洁
华东理工大学
于伟
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微波激发微等离子体源制备及性能研究
唐佳丽
一种制备碳载铂纳米催化剂料浆的装置及方法
本发明涉及一种碳载铂纳米催化剂料浆的制备装置与方法。本发明在气体保护下,于手套箱中进行催化剂和液体的称量,将其注入到匀浆设备中,通过恒温水浴控制匀浆的温度,制备的料浆出料到纳米料浆储罐。匀浆设备斜向安装有定、转子结构的高...
于新海
涂善东
白文田
唐佳丽
杨洁
一种测试蒸汽安全阀排量的试验装置及试验方法
本发明涉及一种基于系统干度控制的蒸汽安全阀排量试验装置与方法。本装置主要由直流锅炉、汽水分离器、储能器和试验容器依次相连而成。通过调节蒸汽集箱上调节阀的开度稳定锅炉出口蒸汽压力,以解决不同规格的安全阀试验时锅炉蒸汽供应量...
于新海
涂善东
轩福贞
陆荣华
唐佳丽
王周杰
文献传递
测试核电站鼓泡器排放能力和排放影响的试验装置及方法
本发明提供一种测试核电站鼓泡器排放能力和排放影响的试验装置及方法,主要由直流锅炉、集气箱、汽水分离器、储压容器、试验水池、压力检测系统及消音系统组成,通过锅炉系统对储能容器内的压力进行控制,通过集气箱上的补水阀和快速放空...
于新海
张健
杨留
陆荣华
唐佳丽
文献传递
一种燃料电池尾气催化处理的装置及其方法
本发明属于燃料电池尾气处理领域,涉及一种用于氢氧燃料电池尾气催化处理的装置和方法。本发明提供的燃料电池尾气催化处理的装置,包括气体混合器,所述气体混合器的入口分别与燃料电池阳极端的氢气出口管道和燃料电池阴极端的空气出口管...
于新海
于伟
唐佳丽
涂善东
卢付杰
文献传递
微波微等离子体电子源
本发明提供一种微波微等离子体电子源,所述微等离子体电子源为硅-玻璃双层结构,下层为硅基底,上层为玻璃;所述等离子体腔室、电子加速透镜、电子聚焦透镜、能量过滤器和检测器在硅基底上通过深硅刻蚀工艺形成,再与玻璃键合形成所述微...
唐佳丽
于新海
涂善东
明小祥
于伟
文献传递
一种植物有效成分的提取装置
本发明公开了一种植物有效成分的提取装置,包括匀浆设备罐体(1)和其上端设置的端盖(13),端盖(13)与匀浆设备罐体(1)通过C型夹和垫片密封,在端盖(13)上安装有进料漏斗(12)、锚式搅拌器(6)、高速剪切搅拌器(9...
于新海
黄俊超
江凡
杨洁
唐佳丽
文献传递
阳极键合应力的原位拉曼光谱研究
2016年
介绍了一种基于原位激光拉曼光谱的阳极键合应力研究方法。通过自制的小型阳极键合装置,结合激光拉曼光谱仪,原位研究了在阳极键合升温、通电和降温过程中硅界面应力的演变过程。升温过程中单晶硅的拉曼峰位会向低波数移动,通电恒温键合过程中氧化硅的生长会在单晶硅界面引入拉应力,降温过程中单晶硅界面的应力状态发生从拉应力到压应力的转变。界面的氧化过程对阳极键合结构界面的应力状态有重要影响。
明小祥
唐佳丽
于新海
关键词:
阳极键合
拉曼光谱
应力
原位
一种原位应力检测装置及检测方法
本发明涉及半导体检测领域,尤其涉及一种原位应力检测装置及其检测方法,通过在一键合装置上盖设置一透明凹槽观察视窗,就可以对键合过程中硅片界面的应力状态进行实时监控,从而研究应力产生的原因,应力与阳极键合条件(温度、压力、通...
于新海
明小祥
唐佳丽
徐小五
涂善东
一种植物有效成分的提取装置
本发明公开了一种植物有效成分的提取装置,包括匀浆设备罐体(1)和其上端设置的端盖(13),端盖(13)与匀浆设备罐体(1)通过C型夹和垫片密封,在端盖(13)上安装有进料漏斗(12)、锚式搅拌器(6)、高速剪切搅拌器(9...
于新海
黄俊超
江凡
杨洁
唐佳丽
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