夏慧
- 作品数：18 被引量：59H指数：3
- 供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺电子电信自动化与计算机技术更多>>
- Al-1wt﹪Ti合金靶材的制备及钛对铝薄膜性能的影响
- 了Ａｌ－１ｗｔ℅Ｔｉ合金靶材的制备和铝中添加钛对铝薄膜性能的影响。采用高纯铝粉和高纯钛粉混合制备成Ｔｉ＜，３＞Ａｌ中间合金。真空中频熔炼含１ｗｔ℅钛的铝钛合金，合金铸锭经加工制成靶材，靶材经直流磁控溅在硅片上成膜，经２０...
- 夏慧谷纯芝
- 关键词：钛合金断裂韧性织构
- 靶材及其应用
- 射靶材的物理意义和靶材的应用分类、靶材应用的技术要求、靶材制造工艺、靶材与底盘的连接方式及要求、靶材的市场销售、靶材的发展等几个方面进行了评述。重点评述了用于微电子产业的半导体关键靶材及透明导电用ＩＴＯ靶材，最后提出了研...
- 夏慧韩雪
- 关键词：靶材溅射半导体材料
- 磁控溅射靶材
- 夏慧吴丽君韩雪
- 关键词：靶材磁控溅射
- Co-Al/Cu多层膜中层间耦合和磁电阻的振荡被引量：1
- 1996年
- 近年来研究表明,由磁性金属和非磁性材料交替沉积而成的多层膜或超晶格结构中,相邻磁层间磁矩通过非磁层的耦合,可以出现相互平行排列的铁磁态、反平行排列的反铁磁态,或互相垂直的90°耦合。当磁性多层膜中出现反铁磁耦合时,样品饱和时的磁阻R(S)小于零场时的电阻R(O),出现了所谓的巨磁电阻(giant magneto-resistance)效应,这一效应由于在磁头材料和磁敏感器件上具有广泛的用途而备受人们的关注。
- 周仕明陈良尧朱伟荣王昱郑卫民王亚栋郑玉祥金庆原钱佑华董国胜金晓峰夏慧
- 关键词：多层膜层间耦合磁电阻效应
- Al-Ti合金溅射薄膜的性能研究
- 吴丽君夏慧袁冠森刘安生王晓华
- 关键词：磁控溅射铝钛合金
- 真空磁控溅射靶Ni－V合金的均匀性研究被引量：1
- 1994年
- Ｎｉ－Ｖ合金靶材无磁性。该合金由真空熔炼制成，压力加工后晶粒得以细化。靶材的尺寸为Φ２２５×１２．７ｍｍ及２７６×１３６×９ｍｍ。合金的纯度为９９．７％。磁性材料镍中添加钒有利于磁控溅射。在溅射过程中，Ｎｉ－Ｖ合金中的镍被溅射于硅片上，用作粘附层，钒则作为阻挡层。合金靶经Ｘ射线衍射分析确定为单相固溶体，经扫描电镜及Ｘ射线能谱仪测定，钒在Ｎｉ－Ｖ合金中的平面方向和垂直方向上分布均匀。
- 夏慧
- 关键词：真空熔炼磁控溅射
- 光记录介质反射膜用铝合金薄膜及其溅射靶材被引量：2
- 1997年
- 扼要介绍了光记录介质反射膜的发展。指出了纯铝及早期的铝合金光记录介质反射膜及其靶材存在的问题。最后介绍了几类新型铝合金反射膜及其靶材。
- 吴丽君韩雪夏慧陆彪
- 关键词：光记录介质铝合金溅射靶材
- Al-Fe合金薄膜的电阻率与显微结构
- 为了防止信号延迟,要求TFT-LCD布线膜具有低电阻率的特性十分重要.本文采用磁控溅射法制备了不同成分的Al-Fe合金薄膜,用光刻等方法将薄膜样品加工成自行设计的图形,然后用四引线法精确测量了经不同温度退火的Al-Fe合...
- 吴丽君夏慧袁冠森
- 关键词：电阻率显微结构
- 文献传递
- A15型V[*v3*]Ga超导体评述
- 夏慧
- 关键词：超导化合物镓化合物钒化合物超导磁体
- 透明导电膜及靶材被引量：38
- 1998年
- 透明导电膜在电气及光学领域的应用日益广泛。近年来以掺杂Ｓｎ的Ｉｎ２Ｏ３（简称ＩＴＯ）开发和应用受到重视。用ＩＳＯ靶通过溅射法制备ＩＴＯ透明导电膜。由金属铟制取氧化铟粉末，后与氧化锡混合、压制烧结制出相对密度达９５％的ＩＴＯ靶材。
- 韩雪夏慧吴丽君
- 关键词：透明导电膜ITOLCD靶材
