宋永刚
- 作品数：11 被引量：20H指数：2
- 供职机构：太原理工大学机械工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山西省自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电气工程一般工业技术电子电信更多>>
- 功能陶瓷(玻璃)与金属材料阳极键合的机理研究及应用进展
- 阐述了功能陶瓷、玻璃等无机非金属材料与金属及半导体材料进行阳极键合的键合机理、在MEMS中的应用及其发展前景;列举了阳极键合在MEMS生产过程中的一些最新应用实例;指出了其在MEMS的生产制造过程中存在的一些问题及今后的...
- 孟庆森秦会峰宋永刚
- 关键词：功能陶瓷阳极键合单晶硅微电子机械
- 文献传递
- 激光钎焊镀膜CBN外珩轮数值模拟与实验研究
- 齿轮是机械传动中非常重要的组成部分,随着现代制造业的发展,特别是汽车和机床工业的发展,要求齿轮具有高承载能力、高齿面强度、高精度、低齿面粗糙度、长寿命。为满足这些需求,不仅要在齿轮结构设计、材料选择和表面处理等方面采取相...
- 宋永刚
- 关键词：珩轮立方氮化硼激光钎焊有限元分析
- 文献传递
- 固体电解质(玻璃)与硅的阳极连接机理及界面分析被引量：1
- 2006年
- 固体电解质(玻璃)与硅片通过阳极连接可以实现良好键合。采用SEM和EDS对界面结构进行了分析。连接的过程与由耗尽层产生的静电场力有紧密关系,通过建立的模型分析了电场力产生的原因。实验表明:温度、压力、连接时间、表面光洁度、电压是影响连接质量的重要因素,优化连接参数是形成良好连接界面的前提。
- 胡利方秦会峰宋永刚孟庆森
- 关键词：硅
- 阳极键合高压（脉冲）电源设计及键合工艺特性分析
- 本文运用阳极键合(anodie bonding)技术，分别对硅/硼硅玻璃、金属/硼硅玻璃进行了阳极键合试验，分析了键合过程的物理化学本质及其工艺特性，采用光学显微镜、SEM、XRD等方法分析了连接界面结合区的微观组织结构...
- 宋永刚
- 关键词：阳极键合脉冲电源射频磁控溅射键合工艺
- 文献传递
- 硼硅玻璃与硅阳极键合界面形成机理分析被引量：7
- 2006年
- 对硼硅玻璃与硅进行了阳极键合实验,通过扫描电镜对键合界面的微观结构进行分析表明:玻璃/硅的键合界面有明显的中间过渡层生成;分析认为电场力作用下玻璃耗尽层中的氧负离子向界面迁移扩散并与硅发生氧化反应是形成中间过渡层的主要原因,而界面过渡层的形成是硅/玻璃界面键合实现永久连接的直接原因。
- 秦会峰孟庆森宋永刚胡利方张惠轩
- 关键词：阳极键合硼硅玻璃硅过渡区
- 功能陶瓷(玻璃)与金属材料阳极键合的机理研究及应用进展
- 2005年
- 阐述了功能陶瓷、玻璃等无机非金属材料与金属及半导体材料进行阳极键合的键舍机理、在MEMS中的应用及其发展前景;列举了阳极键合在MEMS生产过程中的一些最新应用实例;指出了其在MEMS的生产制造过程中存在的一些问题及今后的研究方向。
- 孟庆森秦会峰宋永刚
- 关键词：阳极键合单晶硅MEMS陶瓷金属
- 激光钎焊的温度场有限元分析被引量：2
- 2009年
- 综合考虑了材料的非线性热物性特征以及焊件表面的热对流和热传导的影响后,利用ANSYS10.0软件对激光钎焊CBN在不同激光参数下的温度场进行了有限元分析,得到了激光扫描速度对温度场的影响规律,对钎焊工艺参数的选择具有指导意义。
- 宋永刚梁国星吕明
- 关键词：激光钎焊温度场有限元分析
- 金属与陶瓷阳极连接高压脉冲电源的设计
- 2007年
- 设计了用于金属与陶瓷阳极连接的高压脉冲电源,并在该电源的基础上进行了K4玻璃/Si的阳极连接试验,该电源系统由高压直流工作电路、脉冲控制电路、数据采集及显示电路三部分单元线路组成,工作稳定,连接件界面连接良好,达到了设计目的,连接过程中平均电流和连接速率提高。
- 梁晋昌宋永刚秦会峰孟庆森
- 关键词：MEMS脉冲电源
- 功能陶瓷(玻璃)与金属材料阳极键合的机理研究及应用进展
- 阐述了功能陶瓷、玻璃等无机非金属材料与金属及半导体材料进行阳极键合的键合机理、在MEMS中的应用及其发展前景;列举了阳极键合在MEMS生产过程中的一些最新应用实例;指出了其在MEMS的生产制造过程中存在的一些问题及今后的...
- 孟庆森秦会峰宋永刚
- 关键词：阳极键合单晶硅MEMS陶瓷金属
- 文献传递
- 硼硅玻璃与Kovar合金阳极键合机理分析
- 硼硅玻璃与Kovar合金进行阳极键合实验, 通过扫描电镜及能谱分析对键合界面的微观结构进行分析表明:硼硅玻璃／Kovar合金的键合界面有过渡层生成,分析认为在外加电场和温度的作用下玻璃耗尽层中的氧负离子向界面迁移扩散并与...
- 宋永刚秦会峰胡利方孟庆森
- 关键词：阳极键合硼硅玻璃过渡区
- 文献传递
