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常俊杰

作品数:4 被引量:2H指数:1
供职机构:南京大学电子科学与工程学院超导电子研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>
相关领域:理学电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 3篇超导
  • 2篇隧道结
  • 2篇量子
  • 2篇量子比特
  • 2篇
  • 2篇超导量子比特
  • 2篇超导隧道结
  • 1篇电路
  • 1篇电子束
  • 1篇电子束曝光
  • 1篇电子束曝光技...
  • 1篇电子束蒸发
  • 1篇掩膜
  • 1篇深紫外
  • 1篇工艺及控制
  • 1篇AL/AL2...

机构

  • 3篇南京大学

作者

  • 3篇常俊杰
  • 2篇吉争鸣
  • 2篇朱冉
  • 2篇沈丹丹
  • 2篇许伟伟
  • 2篇陈健
  • 1篇梁敏
  • 1篇曹春海
  • 1篇孙国柱

传媒

  • 1篇科学通报
  • 1篇第十一届全国...

年份

  • 2篇2011
  • 1篇2010
4 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
超导量子比特中铝超导隧道结的性能被引量:2
2011年
超导隧道结约瑟夫森结是超导量子比特的基本元件.用双层光刻胶构成悬空掩模,用电子束斜蒸发的方法制备Al/Al2O3/Al隧道结,用一定的氧气气压氧化铝膜作为势垒层.势垒层质量直接影响铝超导隧道结的各项电学参数.深入研究了铝超导隧道结的超导临界电流密度Jc和面积归一化电阻Rc(正常态电阻RN与结面积的乘积)与势垒层生长条件的关系,通过改变势垒层生长的氧分压与氧化时间来控制铝超导隧道结的Jc和Rc,以使此工艺所制备的铝隧道结漏电流小,结参数易于控制,满足制备超导量子比特的要求.
沈丹丹朱冉许伟伟常俊杰吉争鸣孙国柱曹春海陈健
关键词:隧道结电子束蒸发超导量子比特
利用电子束与深紫外光学曝光技术制备悬空掩膜的工艺研究
量子计算已成为国际热点研究课题,超导约瑟夫森结是实现超导量子比特的基本组件。我们在超导量子比特基本组件——约瑟夫森结的制备工艺及其特性方面做了深入细致的研究工作,采用悬空掩模结构法和电子束斜蒸发法的制备工艺,此工艺制备的...
常俊杰
关键词:电子束曝光技术
制备铝超导隧道结的工艺及控制其结性能的研究
沈丹丹许伟伟常俊杰朱冉梁敏吉争鸣陈健
共1页<1>
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