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张文征

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：大连理工大学更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇导电薄膜
  • 4篇透明导电
  • 4篇透明导电薄膜
  • 2篇电子束蒸发
  • 2篇电子束蒸发法
  • 2篇电阻
  • 2篇电阻率
  • 2篇氧化锌
  • 2篇氧化锌薄膜
  • 2篇原材料价格
  • 2篇蒸发法
  • 2篇蒸发制备
  • 2篇热稳定
  • 2篇热稳定性
  • 2篇工作气压
  • 2篇方块电阻
  • 2篇高热稳定性
  • 2篇材料价格

机构

  • 4篇大连理工大学

作者

  • 4篇曹善鹏
  • 4篇叶飞
  • 4篇张文征
  • 4篇侯波

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2013
  • 2篇2012
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种高热稳定性透明导电薄膜及其制备方法和应用
本发明涉及一种透明导电薄膜及其制备方法，所述的透明导电薄膜，是第III主族元素中的一种和镓共掺杂的氧化锌透明导电薄膜。本发明的薄膜在保证薄膜热稳定性(＞300℃)和电阻率(＜10<Sup>-2</Sup>Ω·m)的同时降...
叶飞侯波曹善鹏张文征
文献传递
一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法
本发明涉及一种电子束蒸发制备掺杂氧化锌薄膜的低能耗、易实现的工艺方法，属于透明导电薄膜制备领域。该制备方法为电子束蒸发法，包括靶材制备，基片处理，蒸镀和退火的步骤，其中，蒸镀步骤中电子束流为25～35mA，工作气压为0....
叶飞曹善鹏侯波张文征
一种高热稳定性透明导电薄膜及其制备方法和应用
本发明涉及一种透明导电薄膜及其制备方法，所述的透明导电薄膜，是第III主族元素中的一种和镓共掺杂的氧化锌透明导电薄膜。本发明的薄膜在保证薄膜热稳定性(＞300℃)和电阻率(＜10<Sup>-2</Sup>Ω·m)的同时降...
叶飞侯波曹善鹏张文征
文献传递
一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法
本发明涉及一种电子束蒸发制备掺杂氧化锌薄膜的低能耗、易实现的工艺方法，属于透明导电薄膜制备领域。该制备方法为电子束蒸发法，包括靶材制备，基片处理，蒸镀和退火的步骤，其中，蒸镀步骤中电子束流为25～35mA，工作气压为0....
叶飞曹善鹏侯波张文征
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