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施力群

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：复旦大学现代物理研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇理学

主题

  • 2篇热解吸
  • 2篇溅射
  • 2篇溅射法
  • 2篇溅射法制备
  • 2篇氦
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 1篇金膜
  • 1篇合金膜

机构

  • 2篇复旦大学
  • 1篇中国科学院金...

作者

  • 2篇施力群
  • 2篇刘超卓
  • 1篇于洪波
  • 1篇刘实
  • 1篇郑华
  • 1篇王隆保
  • 1篇朱跃进

传媒

  • 1篇原子能科学技...
  • 1篇中国核学会核...

年份

  • 1篇2005
  • 1篇2004
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究
采用He/Ar复合气氛下磁控溅射方法,在Ti、TiZrYAl和TiMoYAl等3种薄膜中引入浓度(氦-金属比)高达0.19的氦.引入的氦在膜层内沿深度均匀分布,并主要存在于直径为2～5nm的高压He泡内.热解吸实验表明,...
郑华刘实于洪波朱跃进王隆保施力群刘超卓
关键词：磁控溅射氦热解吸合金膜
磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究被引量：2
2005年
采用He/Ar复合气氛下磁控溅射方法,在Ti、TiZrYAl和TiMoYAl等3种薄膜中引入浓度(氦金属比)高达0.19的氦。引入的氦在膜层内沿深度均匀分布,并主要存在于直径为2～5nm的高压He泡内。热解吸实验表明,在相同He含量下,TiHe膜中He的解吸峰温度与氚化钛中衰变产生的3He的解吸峰温度基本一致。与纯钛相比,合金膜中氦的热解吸谱宽化明显,表明He在合金膜内的捕获形式更为复杂。
郑华刘实于洪波朱跃进王隆保施力群刘超卓
关键词：磁控溅射氦热解吸
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