李博翰
- 作品数：7 被引量：1H指数：1
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- 相关领域：电子电信一般工业技术更多>>
- 电容读出式非制冷红外焦平面阵列设计被引量：1
- 2011年
- 设计了一种长支腿式电容读出式红外焦平面阵列结构,并分析了这种像元结构的热导率、热机械灵敏度和热时间常数,从中优化出了该模型的部分结构参数,并以此为依据对像元整体尺寸进行了设计。在该尺寸模型下,得到的像元热导率为3×10-7 W/K,热机械灵敏度为162nm/K,热时间常数为35ms,该热时间常数满足人眼识别频率的需要。讨论了焦平面阵列能够高灵敏度工作的关键参数—噪声等效温差,分析计算显示,得到噪声等效温差为6mK。进行了仿真计算,得到的噪声等效温差为5mK,与计算结果非常吻合。实验表明,该系统的噪声等效温差足够小,可满足稳定输出信号的需要。最后,基于牺牲层工艺制备了长支腿结构焦平面阵列,验证了制备工艺的可行性。
- 李博翰于晓梅
- 关键词：红外焦平面阵列噪声等效温差
- 电容读出式红外焦平面阵列的热力学分析
- 电容读出式红外探测器由于无需制冷和易于单片集成等优异特性而备受关注。该红外焦平面阵列中的每个像元是一个双材料悬臂梁，他由红外吸收面、双材料支腿、热隔离支腿和锚点组成，双材料支腿和热隔离支腿组成像元的支腿，连接红外吸收面至...
- 李博翰于晓梅
- 关键词：红外焦平面阵列噪声等效温差热力学分析红外探测器
- 文献传递
- MOSFET嵌入式非制冷红外焦平面阵列技术研究
- MEMS非制冷红外探测器基于双材料支腿吸收红外辐射能量后发生弯曲的原理工作。双材料支腿的信号读出方式,一直是制约探测器小型化,集成化的难题。光读出和电容读出是目前主要采用的信号读出方式。但是光读出由于许多的光学元件使系统...
- 李博翰
- 关键词：红外探测器氮化硅薄膜电学特性
- 微纳机电器件中纳米间隙的制作方法
- 本发明公开了一种微纳机电器件中纳米间隙的制作方法。该方法首先在硅基材上形成一半硬掩膜图形，然后淀积纳米厚度的多晶硅，在第一半硬掩膜侧面形成多晶硅侧壁，再在多晶硅侧壁的另一侧形成第二半硬掩膜，最后利用各向异性刻蚀对硅和硬掩...
- 于晓梅刘毅李博翰
- 文献传递
- 非制冷红外焦平面阵列及其制备方法与应用
- 本发明公开一种非制冷红外焦平面阵列及其制备方法与应用。该红外焦平面阵列，由微悬臂梁像元阵列、支撑所述微悬臂梁像元阵列的衬底和位于所述衬底上的电路组成；其中，所述微悬臂梁像元阵列由红外吸收面、悬臂梁支腿、MOSFET器件、...
- 于晓梅李博翰
- 文献传递
- 微纳机电器件中纳米间隙的制作方法
- 本发明公开了一种微纳机电器件中纳米间隙的制作方法。该方法首先在硅基材上形成一半硬掩膜图形，然后淀积纳米厚度的多晶硅，在第一半硬掩膜侧面形成多晶硅侧壁，再在多晶硅侧壁的另一侧形成第二半硬掩膜，最后利用各向异性刻蚀对硅和硬掩...
- 于晓梅刘毅李博翰
- 非制冷红外焦平面阵列及其制备方法与应用
- 本发明公开一种非制冷红外焦平面阵列及其制备方法与应用。该红外焦平面阵列，由微悬臂梁像元阵列、支撑所述微悬臂梁像元阵列的衬底和位于所述衬底上的电路组成；其中，所述微悬臂梁像元阵列由红外吸收面、悬臂梁支腿、MOSFET器件、...
- 于晓梅李博翰
