王大鹏
- 作品数：15 被引量：4H指数：1
- 供职机构：长春理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术理学机械工程电子电信更多>>
- 基于激光干涉纳米光刻在硅片上制备超疏水表面的方法
- 本发明公开了一种基于激光干涉纳米光刻在硅片上制备超疏水表面的方法，本发明包括如下步骤，(1)利用Matlab模拟四光束干涉图形，设定参数模拟出理想点阵模型。根据模拟参数来搭建激光干涉光学系统。由激光器发出的一束激光，经过...
- 王作斌李文君王大鹏张子昂赵乐董莉彤宋正勋
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- 一种生物细胞特性测量纳米电极阵列结构及其制造方法
- 本发明涉及一种生物细胞特性测量纳米电极阵列结构及其制造方法，该电极阵列主要用于细胞电特性测量。克服现有技术电极尺度较大的不足，提出一种纳米电极阵列方案，并利用激光干涉光刻技术方法通过直接或间接制造，提供了该纳米电极阵列的...
- 王作斌张子昂王大鹏宋正勋翁占坤胡贞许红梅李理于淼曲英敏
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- 一种仿真飞蛾复眼光学减反射结构图案的方法和系统
- 本发明涉及一种多光束激光干涉技术产生飞蛾复眼周期性减反结构图案的方法和系统，该系统由激光器，扩束准直系统，分束与折光系统，半波片，偏振片，CCD等组成，其特征是用激光干涉系统，将六或六个以上相干激光束组合，对干涉场内的光...
- 于淼赵振明王作斌徐佳翁占坤王大鹏刘洋宋正勋胡贞
- 一种激光干涉纳米光刻制备双重周期纳米结构的方法
- 本发明提出一种激光干涉纳米光刻制备双重周期纳米结构的方法，利用入射光束与调制光束的特定组合方式对干涉光场进行周期性调制，形成的干涉周期、调制周期在内的双重周期纳米结构，结合不同材料的光刻特性，在材料表面直接制造双重周期纳...
- 王作斌王大鹏张子昂刘洋于淼宋正勋翁占坤胡贞许红梅
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- 一种微结构周期可控的大面积黑硅的制造方法
- 本发明提出一种利用激光干涉技术快速制造大面积黑硅的方法。利用特定多光束干涉组合，形成点阵周期光场分布，在含硫化合物气氛环境下，利用较大的干涉光场分布和控制硅材料样品的二维平面位移，结合硅材料的激光刻蚀阈值，直接在硅材料表...
- 王作斌张子昂王大鹏于淼宋正勋翁占坤胡贞许红梅
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- 基于激光干涉纳米光刻在硅片上制备超疏水表面的方法
- 本发明公开了一种基于激光干涉纳米光刻在硅片上制备超疏水表面的方法，本发明包括如下步骤，(1)利用Matlab模拟四光束干涉图形，设定参数模拟出理想点阵模型。根据模拟参数来搭建激光干涉光学系统。由激光器发出的一束激光，经过...
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- 一种仿真飞蛾复眼光学减反射结构图案的方法和系统
- 本发明涉及一种多光束激光干涉技术产生飞蛾复眼周期性减反结构图案的方法和系统，该系统由激光器，扩束准直系统，分束与折光系统，半波片，偏振片，CCD等组成，其特征是用激光干涉系统，将六或六个以上相干激光束组合，对干涉场内的光...
- 于淼赵振明王作斌徐佳翁占坤王大鹏刘洋宋正勋胡贞
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- 一种激光干涉纳米光刻制备双重周期纳米结构的方法
- 本发明提出一种激光干涉纳米光刻制备双重周期纳米结构的方法，利用入射光束与调制光束的特定组合方式对干涉光场进行周期性调制，形成的干涉周期、调制周期在内的双重周期纳米结构，结合不同材料的光刻特性，在材料表面直接制造双重周期纳...
- 王作斌王大鹏张子昂刘洋于淼宋正勋翁占坤胡贞许红梅
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- 变光束质量激光束自适应光纤耦合与输出准直装置
- 本发明提供了一种变光束质量激光束自适应光纤耦合与输出准直装置，主要包括扩束器1、聚焦透镜2、光纤传输系统3、准直透镜4、探测单元5、处理单元6、控制器7和一维微运动台8、光学调整架9等。激光束经过伽利略望远系统1进行扩束...
- 王菲王晓华赵蕊车英张国玉杨进华王大鹏王子强魏丹王金艳毕海涛
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- 利用干涉光刻和双光子聚合技术制造带有功能缺陷的二维光子晶体(英文)被引量：1
- 2011年
- 光子晶体是一种介电常数呈周期性变化的介质材料,它由介电常数不同的两种材料周期排列组成,因其周期性而产生了光子禁带,为了产生比较大的光子禁带宽度,这两种材料的介电常数比一般大于2,光子晶体可以使某一频段上的光波无法通过,继而达到滤波的目的.设计了在硅基底上制作六边形孔阵的二维光子晶体的方法,这个结构具有特殊的光学特性;经过实验尝试,最终得到了能够制造符合要求的光子晶体的尺寸参数.制作这样的光子晶体要在涂有光刻胶的硅基质上进行一步干涉光刻,为完成这个光刻实验搭建了三光束光刻光路,通过多次曝光实验得到了符合仿真数据的光子晶体结构参数.通过利用双光子聚合的方法在光刻胶上可以制作点或是线缺陷,再利用如三电极电化学(HF溶液)等方法对光刻胶进行刻蚀,可制造空气柱深宽比相对较大的光子晶体.将这个模型记录在硅基底上,形成的光子晶体就具有如滤波等特殊能力.也可以利用相同的原理得到想要的光子晶体结构,以控制不同频段上的光波.这种工艺提供了更快速、低成本的制造更大型、更复杂的所需光子晶体结构的可能.
- 孙慧婷宋正勋翁占坤王大鹏蒋伊爽于烨
- 关键词：光子晶体干涉光刻
