秦子明
- 作品数:6 被引量:0H指数:0
- 供职机构:西北工业大学更多>>
- 发文基金:西安应用材料创新基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:航空宇航科学技术兵器科学与技术自动化与计算机技术更多>>
- 任意流程的微机电系统设计工具技术及应用
- 苑伟政姜澄宇常洪龙吕湘连徐景辉何洋谢建兵张亚飞谢志雄虞益挺任森秦子明马炳和乔大勇马志波
- 该成果的MEMS设计工具是一种计算机辅助设计(CAD)系统,支持惯性、压力、光学等类别的MEMS系统级、器件级和工艺级建模、仿真与分析过程,主要技术内容包括:1.支持任意流程的MEMS集成设计方法:提出了支持任意流程的M...
- 关键词:
- 关键词:微机电系统
- 微机电系统的跨时间尺度仿真方法
- 本发明公开了一种微机电系统的跨时间尺度仿真方法,属于微机电系统建模与仿真领域。该方法将微机电系统系统级模型中的组件分为高频组和低频组,在第一次仿真中将低频组作为仿真对象,用较大步长进行时域仿真,在第二次仿真中将低频组仿真...
- 苑伟政秦子明常洪龙谢建兵吕湘连姜澄宇
- 文献传递
- 大输出微控制力矩陀螺的设计
- 2011年
- 为了提高微控制力矩陀螺的输出力矩,提出了一种微型控制力矩陀螺的设计方案。所设计的微型控制力矩陀螺用角振动代替了传统控制力矩陀螺的转动,由转子角振动系统及框架角振动系统组成,实现了基于科氏效应的控制力矩输出。通过框架角振动系统的电极位置居中设置及在玻璃上挖槽的设计,避免了静电吸合现象。四个完全相同的微型控制力矩陀螺构成一个阵列,每两个微型控制力矩陀螺的电压相位依次相差90°,即可消除寄生控制力矩并稳定力矩输出。所设计的微型控制力矩陀螺四单元阵列的力矩输出可达5.12×10-6 Nm。最后,设计了微型控制力矩陀螺两层可动结构的工艺流程,所设计的工艺流程尽管具有一定的复杂性和难度,但均采用了当前一些比较成熟的工艺步骤,具有一定的可行性,有望在微型航天器的姿态控制上得到应用。
- 常洪龙白滨焦文龙谢建兵秦子明苑伟政
- 关键词:微机电系统
- 微机电系统的跨时间尺度仿真方法
- 本发明公开了一种微机电系统的跨时间尺度仿真方法,属于微机电系统建模与仿真领域。该方法将微机电系统系统级模型中的组件分为高频组和低频组,在第一次仿真中将低频组作为仿真对象,用较大步长进行时域仿真,在第二次仿真中将低频组仿真...
- 苑伟政秦子明常洪龙谢建兵吕湘连姜澄宇
- 文献传递
- 一种新型微控制力矩陀螺的设计
- 微型控制力矩陀螺(CMG)可以用来改变像纳米卫星等微小航天器的姿态,相比于微推进器技术,其不存在燃料耗尽的问题。美国华盛顿大学的Reiter等人提出了一种微型CMG的方案,由于输出力矩太小,一直没有得到进一步研究和应用。...
- 常洪龙秦子明白滨谢建兵苑伟政
- 关键词:纳米卫星
- 文献传递
- 微控制力矩陀螺
- 本发明公开了一种采用微机电系统(MEMS)技术实现的振动式单框架微控制力矩陀螺,属于利用陀螺效应的制导或控制装置领域。陀螺依次包括顶层硅(1)、二氧化硅层(3)、底层硅(5)和基底(7);顶层硅(1)和底层硅(5)导电,...
- 苑伟政秦子明常洪龙谢建兵蒋庆华吕湘连