2024年12月27日
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薛玉明
作品数:
122
被引量:128
H指数:8
供职机构:
天津理工大学
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国家高技术研究发展计划
天津市教委基金
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相关领域:
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合作作者
宋殿友
天津理工大学电子信息工程学院
冯少君
天津理工大学电子信息工程学院
朱亚东
天津理工大学
刘君
天津理工大学
刘浩
天津理工大学电子信息工程学院
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射频磁控溅射生长C轴择优取向AlN压电薄膜
被引量:9
2007年
采用射频磁控反应溅射工艺,在Si(400)衬底上制备了高c轴取向的AlN薄膜。用X射线衍射仪(XRD)分析了薄膜特征。研究了不同的Ar/N2比、衬底偏压、工作压强对AlN薄膜c轴择优取向的影响。研究了AlN薄膜在以氮终止的硅衬底和纯净硅衬底两种表面状态的生长机制,发现在以氮终止的硅衬底表面生长的AlN薄膜非常容易得到c轴择优取向的AlN薄膜。
杨保和
徐娜
陈希明
薛玉明
李化鹏
关键词:
ALN薄膜
孪生对靶溅射ZnO:AI薄膜的研究
采用对向孪生靶溅射ZnO:Al(ZAO)薄膜可减少等离子体对基底薄膜轰击损伤,沉积速率与结晶程度高:不同气压溅射的ZAO薄膜,其透光率在波长小于700nm时基本相同,在可见光范围内(400nm~700nm).都大于80%...
薛玉明
刘维一
朴英美
李凤岩
何青
周志强
孙云
关键词:
ZNO
透过率
文献传递
一种铜锌锡硫薄膜太阳电池器件及其制备方法
一种基于聚酰亚胺柔性衬底的铜锌锡硫薄膜太阳电池器件。1.聚酰亚胺柔性衬底薄膜太阳电池具有较高的重量比功率;具有柔性、可折叠性和不怕摔碰的优势;成本降低潜能大,适合大规模生产的卷-卷工艺。2.铜锌锡硫各组成元素储量丰富且对...
薛玉明
刘浩
郭晓倩
李鹏海
潘洪刚
刘君
宋殿友
朱亚东
冯少君
尹富红
高林
航伟
乔在祥
张紫薇
常淑珍
刘昕晖
王元鹏
宋艳艳
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一种用于声表面波器件的高相速压电薄膜及其制备方法
一种用于声表面波器件的高相速压电薄膜,由金刚石衬底和该衬底表面形成的一层立方氮化硼薄膜构成,所述立方氮化硼薄膜是厚度为0.4-0.6μm的纳米薄膜,其制备方法是:在MOCVD沉积系统的进样室,对金刚石衬底表面进行等离子体...
薛玉明
杨保和
宋殿友
潘宏刚
朱亚东
刘君
辛治军
文献传递
一种铜锌锡硒太阳电池器件及其制备方法
一种铜锌锡硒太阳电池器件及其制备方法,为基于聚酰亚胺膜‑苏打玻璃复合衬底的铜锌锡硒太阳电池,由玻璃、聚酰亚胺、钼背接触层、铜锌锡硒、硫化镉、透明窗口层高阻本征氧化锌薄膜和低阻氧化锌铝薄膜、铝上电极组成并形成叠层结构,其制...
宋殿友
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夏丹
薛玉明
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一种铜铟镓硒太阳电池器件及其制备方法
一种铜铟镓硒太阳电池器件,为基于聚酰亚胺膜-苏打玻璃复合衬底的铜铟镓硒太阳电池,由玻璃、聚酰亚胺、钼背接触层、铜铟镓硒吸收层、硫化镉缓冲层、透明窗口层高阻本征氧化锌薄膜、透明窗口层低阻氧化锌铝薄膜和铝上电极组成并形成叠层...
薛玉明
张嘉伟
赵彦民
乔在祥
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冯少君
刘浩
尹富红
朱亚东
潘宏刚
宋殿友
李鹏海
刘君
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一种铜锌锡硫薄膜太阳电池器件及其制备方法
一种基于聚酰亚胺柔性衬底的铜锌锡硫薄膜太阳电池器件。1.聚酰亚胺柔性衬底薄膜太阳电池具有较高的重量比功率;具有柔性、可折叠性和不怕摔碰的优势;成本降低潜能大,适合大规模生产的卷-卷工艺。2.铜锌锡硫各组成元素储量丰富且对...
薛玉明
刘浩
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一种铜锌锡硫薄膜太阳电池器件及其制备方法
一种基于聚酰亚胺柔性衬底的铜锌锡硫薄膜太阳电池器件。1.聚酰亚胺柔性衬底薄膜太阳电池具有较高的重量比功率;具有柔性、可折叠性和不怕摔碰的优势;成本降低潜能大,适合大规模生产的卷-卷工艺。2.铜锌锡硫各组成元素储量丰富且对...
薛玉明
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一种小面积硫化镉薄膜的制备方法
一种基于铜铟镓硒衬底使用化学水浴法低氨条件下制备小面积硫化镉薄膜制备方法,其特征在于:衬底由玻璃衬底上制备用磁控溅射法制备钼电极并且用共蒸发的方法制备铜铟镓硒薄膜,在该复合衬底表面用化学水浴法在低氨条件下制备CdS薄膜。...
薛玉明
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宋殿友
朱亚东
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一种铜铟镓硒太阳电池器件及其制备方法
一种铜铟镓硒太阳电池器件,为基于聚酰亚胺膜-苏打玻璃复合衬底的铜铟镓硒太阳电池,由玻璃、聚酰亚胺、钼背接触层、铜铟镓硒吸收层、硫化镉缓冲层、透明窗口层高阻本征氧化锌薄膜、透明窗口层低阻氧化锌铝薄膜和铝上电极组成并形成叠层...
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