郭文泰
- 作品数：8 被引量：15H指数：2
- 供职机构：天邦膜技术国家工程研究中心有限责任公司更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程化学工程更多>>
- 一种液态冷媒气压源
- 一种液态冷媒气压源，属于能源动力技术领域。该液态冷媒气压源包括安全阀、压力开关、蒸发室、电机、离心泵、密封圈、瓶塞、不锈钢细长管和杜瓦瓶。离心泵主要由紧定螺钉、中心座、离心缸、滑块、出液口、弹簧和螺母组成。蒸发室与杜瓦瓶...
- 吴海帆屈福政冯刚郭文泰
- 文献传递
- 微加热板式半导体微气压传感器的测试
- 2004年
- 组建了一套用于半导体微气压传感器的测试系统。该系统主要由真空装置和信号采集系统两部分组成。该系统为半导体微气压传感器的研制提供了实验平台,利用该系统对一种微加热板式传感器的微气压特性进行了实验测试及分析。
- 郭文泰金仁成王海霞高仁璟张凤田余俊于耀东张天超
- 微热板式气压传感器结构设计与热分析被引量：14
- 2004年
- 给出了采用牺牲层技术制作的微热板式气压传感器的加工工艺和工作原理。分析了微热板各层薄膜厚度、微热板下气隙高度、支撑桥尺寸、微热板面积大小对传感器加工、工作性能的影响,并结合实际工艺条件设计了一种采用不同支撑桥尺寸的传感器结构。理论分析了恒温加热方式下微热板各种传热途径随气压的变化关系;用有限元方法模拟了恒流加热方式下气压对传感器温度分布和温度大小的影响。分析结果显示,气压较高时微热板传热以气体导热为主,而气压较低时以支撑桥导热为主;微热板区域温度分布较均匀,温度大小受气压影响较大;设计的传感器测量范围为10～105Pa,功耗在毫瓦级,且具有尺寸小、热响应快、易与电路集成等优点。
- 张凤田唐祯安高仁璟金仁成郭文泰王海霞
- 关键词：微热板气压传感器热分析有限元
- 一种液态冷媒气压源
- 一种液态冷媒气压源，属于能源动力技术领域。该液态冷媒气压源包括安全阀、压力开关、蒸发室、电机、离心泵、密封圈、瓶塞、不锈钢细长管和杜瓦瓶。离心泵主要由紧定螺钉、中心座、离心缸、滑块、出液口、弹簧和螺母组成。蒸发室与杜瓦瓶...
- 吴海帆屈福政冯刚郭文泰
- 集成温度传感器AD590在气压测量中的应用
- 本文研究了集成温度传感器AD590在气压测量中的应用。利用真空测试系统,用AD590作为敏感元件和信号的转换元件,对1-100kpa范围内的气压进行了测试。测试结果表明,AD590对该范围内的气压有良好的线性响应,敏感元...
- 王海霞唐祯安高仁璟金仁成郭文泰
- 关键词：集成温度传感器AD590PN结单片集成
- 文献传递
- 适用于SOC的微气压传感器自动测试的研究
- 近年来,微机械加工技术和微机电系统(MEMS)的迅速发展,为具有广阔应用前景的适用于SOC的微气压传感器的研制奠定了坚实基础.研制一种用于测量微小气压的微加热板式微气压传感器成为国内外研究的一个热点,因此,为探求低气压与...
- 郭文泰
- 关键词：SOC微气压传感器自动测试系统模糊控制数据采集
- 文献传递
- 一种半导体微气压传感器测试系统
- 一种半导体微气压传感器测试系统，包括微机控制部分和真空获取部分。微机控制部分包括控制主机、程控电源、驱动电路、测试电路、A/D卡和D/A卡，主机控制程控电源，待测器件的响应信号通过测试电路和A/D卡传递到控制主机；真空获...
- 金仁成刘光王晓东郭文泰唐祯安
- 文献传递
- 气体膜分离技术在合成氨生产中的综合应用
- 2013年
- 气体膜分离技术在合成氨生产中得到广泛的应用,其中氢气及氨回收技术已经日趋成熟,而甲烷回收也逐渐得到合成氨厂的重视,膜分离技术日益呈现应用综合化和装置集约化的发展趋势,国产膜占据重要地位。
- 郭文泰徐徜徉单世东
- 关键词：膜分离气体回收
