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郭玉彬

作品数：7 被引量：6H指数：1
供职机构：中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇中文期刊文章

领域

  • 5篇电子电信
  • 3篇机械工程
  • 3篇理学

主题

  • 6篇软X射线
  • 4篇光刻
  • 3篇等离子体
  • 2篇激光
  • 2篇激光等离子体
  • 2篇光刻胶
  • 2篇光刻术
  • 2篇DCPA
  • 1篇散射
  • 1篇射线
  • 1篇透镜
  • 1篇谱学
  • 1篇子体
  • 1篇脉冲
  • 1篇近贴式
  • 1篇光谱
  • 1篇光谱学
  • 1篇感光
  • 1篇X射线
  • 1篇超光滑

机构

  • 7篇中国科学院长...

作者

  • 7篇郭玉彬
  • 5篇李福田
  • 1篇李加

传媒

  • 3篇微细加工技术
  • 1篇中国激光
  • 1篇光学学报
  • 1篇光子学报
  • 1篇光散射学报

年份

  • 2篇1996
  • 4篇1995
  • 1篇1994
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
脉冲等子体软X射线探测系统被引量：1
1996年
研制了一种脉冲重复频率为１０Ｈｚ的激光等离子体软Ｘ射线源；设计并建立了以掠入射恒偏单色仪为基础的脉冲等离子体软Ｘ射线辐射测试系统。光源实验使用能量１０００ｍＪ（波长０．５３μｍ）的激光脉冲，聚焦在不同的金属靶上，使之离子化。这种高温等离子体产生的辐射包含了波长０．４～２０ｎｍ的软Ｘ光连续谱和迭加在其上的线谱。靶材有Ｍｇ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｐｂ和Ｂｉ。得到了不同原子序数的靶材辐射的光谱分布特性。
郭玉彬
关键词：等离子体软X射线脉冲光谱学
用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能被引量：1
1995年
采用软Ｘ射线近贴式光刻术，对ＤＣＰＡ光刻胶的曝光性能进行了系统研究，得到了一些新的实验结果。
郭玉彬李福田唐九华李加慎微杜涌兴
关键词：软X射线近贴式光刻胶光刻术
小型激光等离子体软X射线源辐射特性研究被引量：3
1995年
研制了一种高重复频率小型激光等离子体软Ｘ射线源，其发射重复性涨落优于±４．５％。采用光谱学诊断方法系统研究了光源的软Ｘ射线辐射特性。
郭玉彬李福田
关键词：软X射线激光等离子体
激光等离子体软X射线接近式光刻术初步研究被引量：1
1995年
描述了用高功率脉冲激光打靶产生的等离子体作为软Ｘ射线源而进行的接近式软Ｘ射线光刻研究。采用负性辐射线光刻胶聚氯甲基苯乙烯（ＰＣＭＳ），得到了一些新的实验结果。
郭玉彬李福田唐九华李加
关键词：软X射线激光等离子体光刻术
X射线聚束透镜原理及其应用
1994年
本文阐述了一种新型的Ｘ射线聚束装置─—Ｘ射线透镜的聚束原理。给出了透镜的基本设计方法，并对它应用于Ｘ射线光刻研究领域的前景作了展望。
郭玉彬李福田
关键词：X射线透镜光刻
软X射线超光滑表面传输特性的初步研究
1996年
本文给出了软Ｘ射线超光滑表面散射的一级近似的一般理论推导，从中给出软Ｘ射线的散射传输特性。通过实验测量了λ＝２４．３ｎｍ、２５．６ｎｍ时具有超光滑表面的Ｍｏ、Ｓｉ样品的反射率和λ＝４．４６ｎｍ时熔石英超光滑样品的反射单。对４．４６ｎｍ进行了了散射测量，可以明显观察到软Ｘ射线的非正常反射现象。
郭玉彬李福田项阳
关键词：超光滑表面传输特性软X射线散射
DCPA光刻胶的软X射线感光灵敏度初步测量被引量：1
1995年
采用安装Ｃ靶（４．４７ｎｍ）的Ｈｅｎｋｅ源进行了ＤＣＰＡ胶的Ｘ光曝光实验，经持续曝光，得到了与５０线／ｍｍ铜网掩模对应的光刻图形。结合正比计数管的Ｘ光测量，得到ＤＣＰＡ胶对Ｃ靶的曝光灵敏度为～３５ｍＪ／ｃｍ￣２。
郭玉彬
关键词：软X射线光刻胶
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