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闵光伟

作品数:1 被引量:3H指数:1
供职机构:东南大学生物科学与医学工程学院吴健维实验室更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇STM

机构

  • 1篇东南大学

作者

  • 1篇闵光伟
  • 1篇韦钰
  • 1篇顾宁
  • 1篇陆祖宏

传媒

  • 1篇电工电能新技...

年份

  • 1篇1994
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
STM纳米加工技术进展被引量:3
1994年
STM(扫描隧道显微镜)作为一种新型的纳米加工工具,在微电子制造,量子、分子器件的制作以及在原子分子尺度内的操作与构建等方面有极大的应用潜力。本文对STM纳米加工方法进行了初步分类,简略介绍了其一般工作原理及发展状况,讨论了其未来的应用前景。
顾宁闵光伟鲁武陆祖宏韦钰
关键词:STM
共1页<1>
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