陈昱
- 作品数：17 被引量：8H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信医药卫生更多>>
- 一种用于光伏型碲镉汞探测器的延展电极及制备方法
- 本发明公开了一种用于光伏型碲镉汞探测器的延展电极及制备方法。本发明中的电极为一种延展电极，该电极将pn结注入区的电极延展至非注入区的复合钝化层表面。该方法采用负性光致抗蚀剂光刻后获得顶部大底部小的光刻胶台面，利用薄膜生长...
- 廖清君胡晓宁马伟平邢雯陈昱林春王建新
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- 一种显现碲锌镉红外衬底缺陷的等离子体刻蚀方法
- 本发明公开了一种显现碲锌镉红外衬底缺陷的等离子体刻蚀方法，它涉及光电探测器材料检测技术。本发明采用高密度、低能量的诱导耦合等离子体(ICP)增强反应离子刻蚀(RIE)的方法，来显现红外CZT衬底缺陷的技术方案，巧妙地运用...
- 叶振华尹文婷王建新方维政杨建荣陈昱林春胡晓宁丁瑞军何力
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- 一种台面型红外探测器引出电极的结构及制备方法
- 本发明公开一种台面型红外探测器引出电极的结构及制备方法，在台面顶部引出电极一，在台面底部引出电极二，两电极的顶部处于一个水平高度。该结构的优点在于制备工艺简单，能够提高台面型红外探测器引出电极的可靠性。
- 黄玥叶振华马伟平陈昱刘丹丁瑞军何力
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- 一种光电二极管n区结构优化的碲镉汞长波探测芯片
- 本发明公开了一种光电二极管n区结构优化的离子注入n<Sup>+</Sup>-on-p型碲镉汞(HgCdTe)红外长波(long-wavelength)光伏探测芯片，它涉及光电探测器件技术。本发明采用光电二极管n区由通过离...
- 叶振华王建新潘建珍邢雯刘丹陈昱林春胡晓宁丁瑞军何力
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- 一种基于化学机械抛光工艺的铟柱制备方法
- 本发明公开了一种基于化学机械抛光工艺的铟柱制备方法，该方法是在焦平面器件上光刻铟孔并蒸发铟膜，利用具有弱腐蚀性的化学抛光液，通过化学机械抛光工艺制备铟柱。该种方法制备的铟柱具有高度一致性好、平整度高和致密等优点，能满足大...
- 刘丹陈昱冯婧文周松敏曹菊英林春何高胤胡晓宁
- 一种掩模用光刻胶微凸镜列阵的等离子体回流成形方法
- 本发明公开了一种红外焦平面列阵器件原位集成红外微凸镜列阵工艺所需的掩模用光刻胶微凸镜列阵的成形方法，它涉及光电探测器件的制造技术。本发明采用高密度、低能量的诱导耦合等离子体(ICP)增强反应离子刻蚀(RIE)方法，仅对红...
- 叶振华黄建胡伟达尹文婷马伟平陈昱林春胡晓宁丁瑞军何力
- 一种用于光伏型碲镉汞探测器的延展电极
- 本实用新型公开了一种用于光伏型碲镉汞探测器的延展电极。本实用新型中的电极为一种延展电极，该电极从芯片注入区延展至非注入区，电极与非注入区表面之间有钝化层将电极与非注入区表面隔离，钝化层为200～300nm厚的CdTe与Z...
- 廖清君胡晓宁马伟平邢雯陈昱林春王建新
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- 一种用于台面探测器的新型电极结构（英文）
- 2016年
- 提出一种用于台面探测器的新型电极结构.该结构通过在台面底部两次制备电极而获得接力电极.同传统的引出电极结构相比,这种接力电极结构不仅简化了从台面底部引出电极的工艺,而且能够增加台面顶部空间从而更有利于其它工艺的进行以及工艺集成.在200 W超声处理5分钟后,接力电极的高度和形貌都未发生变化.从倒焊互连的剖面SEM照片可以看出台面底部的接力电极是个整体,并且该接力电极结构完全可以应用在台面探测器中.
- 黄玥陈奕宇马伟平刘丹陈昱叶振华丁瑞军何力
- 关键词：电极红外探测器
- HgCdTe甚长波红外光伏器件的光电性能被引量：8
- 2013年
- 甚长波指的是波长大于14μm的波段,该波段富含大量的信息,包括大气中的湿度和CO2的含量,以及云层的结构和温度的轮廓,这些对大气遥感探测是必须的。采用在CdZnTe衬底上液相外延生长的As掺杂p型材料上进行B+离子注入形成平面结,制成了在液氮温度下,截止波长达到14μm的单元变面积结构和小的焦平面器件。测试结果显示,甚长波器件有反向的开启现象,可能是甚长波器件表面发生反型造成的。单元变面积器件的测试结果显示,甚长波表面电流与体电流是可以比拟的,即表面漏电较大。而变温测试发现,甚长波器件在温度低于50K时,隧穿电流占主导。在60μm×60μm中心距的小面阵器件中,50μm×50μm的光敏元I-V特性最差。
- 解晓辉廖清君杨勇斌马伟平邢雯陈昱周诚胡晓宁
- 关键词：碲镉汞
- 一种用于光伏型碲镉汞探测器的延展电极及制备方法
- 本发明公开了一种用于光伏型碲镉汞探测器的延展电极及制备方法。本发明中的电极为一种延展电极，该电极将pn结注入区的电极延展至非注入区的复合钝化层表面。该方法采用负性光致抗蚀剂光刻后获得顶部大底部小的光刻胶台面，利用薄膜生长...
- 廖清君胡晓宁马伟平邢雯陈昱林春王建新
