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文献类型

  • 6篇专利
  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇氧化锌
  • 3篇迁移率
  • 3篇MOCVD
  • 2篇载流子
  • 2篇载流子浓度
  • 2篇施主
  • 2篇受主
  • 2篇能级
  • 2篇迁移
  • 2篇晶格
  • 2篇空位
  • 2篇MGZNO
  • 1篇电子枪
  • 1篇多层膜
  • 1篇氧化物薄膜
  • 1篇氧化锌薄膜
  • 1篇氧化锌陶瓷
  • 1篇氧化镓
  • 1篇载流子迁移率
  • 1篇中垂线

机构

  • 9篇中国科学院福...
  • 1篇福建农林大学

作者

  • 9篇丁凯
  • 8篇黄丰
  • 4篇黄瑾
  • 4篇湛智兵
  • 4篇郑清洪
  • 3篇陈达贵
  • 3篇张继业
  • 3篇黄嘉魁
  • 2篇林钟潮
  • 2篇林文文
  • 2篇颜峰坡
  • 1篇阮凯斌
  • 1篇王永好
  • 1篇黄顺乐
  • 1篇洪杨平
  • 1篇颜峰波
  • 1篇王玉柱

传媒

  • 1篇电子元件与材...
  • 1篇第十三届全国...
  • 1篇第五届届全国...

年份

  • 1篇2019
  • 2篇2015
  • 1篇2014
  • 4篇2012
  • 1篇2011
9 条 记 录,以下是 1-9
排序方式:
ZnO薄膜的MOCVD异质外延和同质外延生长
本文介绍了自主研发的适用于氧化物半导体薄膜外延生长的MOCVD设备组成和性能情况。采用MOCVD方法在石英玻璃衬底上进行了ZnO薄膜的异质外延生长,并在ZnO单晶衬底上进行了ZnO薄膜的同质外延生长。优化了ZnO薄膜的生...
丁凯黄丰
ZnO单晶衬底上ZnMgO薄膜的MOCVD外延生长
本文采用MOCVD 技术在ZnO单晶衬底上生长了ZnMgO薄膜。研究了ZnO单晶衬底的生长前热退火对于衬底表面形貌的影响,借助原子力显微镜(AFM)发现在900℃氧气氛下退火2 小时可以获得原子级平整表面,适于ZnMgO...
丁凯胡启昌黄丰
关键词:ZNMGOMOCVD
高电导率氧化锌陶瓷及其制备方法
本发明涉及一种高压氧气氛下烧结制备高电导率氧化锌陶瓷的方法。本发明以氧化锌为主要成分,添加氧化铝、氧化镓,分散、研磨、粉碎、压制、烧结,烧结的温度为700-900℃,烧结出来的陶瓷载流子浓度1.137E10<Sup>19...
黄瑾黄丰丁凯颜峰坡黄嘉魁吕佩文林钟潮
文献传递
MgZnO∶N薄膜中Mg对N掺杂热稳定性的影响被引量:1
2019年
N作为ZnO常见的受主杂质,其热稳定性是影响ZnO p型掺杂的关键因素。通过MOCVD法在石英衬底上生长MgZnO∶N薄膜,利用X射线衍射仪、原子力显微镜、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计、拉曼光谱仪等手段表征薄膜的基本性质和N相对含量,并设计热力学实验分析N的热稳定性机理。结果表明,生长获得了高晶格质量、高透射率、低Mg组分的MgZnO∶N薄膜;相比于ZnO∶N薄膜,MgZnO∶N薄膜具有更高的N含量和热稳定性;热力学实验结果进一步证实Mg3N2具有比Zn3N2更高的热稳定性,这是Mg提高ZnO掺杂N的效率和热稳定性的原因。该工作对ZnO薄膜的p型掺杂研究具有重要指导意义。
胡启昌阮凯斌王玉柱丁凯
关键词:氧化锌MOCVD拉曼光谱掺杂热稳定性
氧化物薄膜生长用金属有机物化学气相沉积反应室
本发明公开一种氧化物薄膜生长用金属有机物化学气相沉积设备反应室。本反应室包括,反应室上法兰盘(1)、反应室下法兰盘(2)、反应室侧壁(3)、旋转轴(4)、电机(5)、磁流体密封轴承(6)、衬底托(7)、衬底加热器(8)、...
丁凯黄丰林钟潮黄顺乐郑清洪颜峰波
文献传递
p型氧化锌材料的制备方法
本发明提供p型氧化锌材料的制备方法。该方法包括如下步骤:强氧化性气氛下制备含高浓度锌空位的高质量单晶或薄膜;通过还原气氛退火将锌空位通过扩散填充以一价原子,同时达到生成和稳定浅能级受主、完备晶格以提高迁移率的两个目的;通...
黄丰丁凯林文文张继业郑清洪黄嘉魁黄瑾湛智兵陈达贵
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一种MgZnO薄膜的制备设备系统和方法
本发明涉及一种MgZnO薄膜,尤其是一种用于制备紫外探测器的MgZnO薄膜的磁控溅射系统和方法。磁控溅射系统包括生长腔(1),真空系统(2),安放衬底的基片架(3),2个溅射电极(4)、(5),电子枪(6)和混气室(7)...
黄丰郑清洪陈达贵湛智兵丁凯黄瑾
文献传递
p型氧化锌材料的制备方法
本发明提供p型氧化锌材料的制备方法。该方法包括如下步骤:强氧化性气氛下制备含高浓度锌空位的高质量单晶或薄膜;通过还原气氛退火将锌空位通过扩散填充以一价原子,同时达到生成和稳定浅能级受主、完备晶格以提高迁移率的两个目的;通...
黄丰丁凯林文文张继业郑清洪黄嘉魁黄瑾湛智兵陈达贵
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一种高效的光催化杀菌氧化锌多层膜
本发明涉及一种在紫外光下具有高效杀菌抗菌性能的氧化锌多层膜光催化剂涂层的结构设计与制备方法。该涂层包含两层或两层以上具有不同载流子浓度的氧化锌薄膜。薄膜的载流子浓度通过改变铝、镓等掺杂元素的浓度来进行调控。最外层薄膜的载...
张继业黄丰丁凯王永好洪杨平颜峰坡湛智兵
文献传递
共1页<1>
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