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任克飞
作品数:
6
被引量:4
H指数:1
供职机构:
武汉大学物理科学与技术学院加速器实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
一般工业技术
金属学及工艺
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合作作者
付德君
武汉大学物理科学与技术学院加速...
阴明利
武汉大学物理科学与技术学院加速...
邹长伟
武汉大学物理科学与技术学院加速...
王红军
武汉大学物理科学与技术学院加速...
李梦
武汉大学物理科学与技术学院加速...
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5篇
中频磁控溅射
5篇
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磁控溅射制备
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机构
6篇
武汉大学
作者
6篇
任克飞
5篇
付德君
4篇
邹长伟
4篇
阴明利
1篇
郭立平
1篇
刘传胜
1篇
何俊
1篇
周霖
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李梦
1篇
王红军
传媒
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核技术
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2008年全...
1篇
全国第十二届...
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2008年全...
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3篇
2009
3篇
2008
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离子源辅助中频磁控溅射制备AlN薄膜
自行设计了一套阳极层离子源辅助中频磁控溅射装置,并在Si(111)衬底上制备了AlN薄膜。用X射线衍射、原子力显微镜和扫描电镜分析了AlN薄膜的结构、形貌和成分。在最佳实验条件下制备的AlN薄膜具有(002)晶向的强衍射...
任克飞
阴明利
邹长伟
付德君
关键词:
氮化铝薄膜
中频磁控溅射
文献传递
离子源辅助中频磁控溅射制备AlN薄膜
任克飞
关键词:
ALN
中频磁控溅射
离子源辅助中频磁控溅射制备AlN薄膜
自行设计了一套阳极层离子源辅助中频磁控溅射装置,并在Si(111)衬底上制备了 AlN 薄膜。用X 射线衍射、原子力显微镜和扫描电镜分析了AlN 薄膜的结构、形貌和成分。在最佳实验条件下制备的AlN 薄膜具有(002)晶...
任克飞
阴明利
邹长伟
付德君
关键词:
中频磁控溅射
氮化铝
文献传递
中频磁控溅射制备AlN薄膜
被引量:4
2009年
设计了一套阳极层离子源辅助中频磁控溅射装置,并在Si(111)衬底上沉积AlN薄膜。用X射线衍射、原子力显微镜和扫描电镜分析了AlN薄膜的结构、形貌和成分。在优化的实验条件下制备的AlN薄膜具有较强的(002)衍射峰,其半高宽为612–648弧秒。气体流量、衬底偏压、离子源等对薄膜结构有明显影响。
任克飞
阴明利
邹长伟
付德君
关键词:
中频磁控溅射
ALN
CdMnS的制备及其铁电铁磁性研究
2009年
用共蒸发的方法制备了六角多晶结构的CdMnS薄膜,研究了薄膜的铁电性和铁磁性。2%Mn浓度的样品的剩余极化强度Pr为1.72μC/cm2,矫顽场强Ec为14.3kV/cm。Au掺杂的CdMnS样品的居里点超过了300K。在10K低温磁滞回线中,得到的剩余磁化强度和磁矫顽力分别为1.39×10-6emu和75.4G;用磁力显微镜清楚地观察到从几个纳米到一百纳米大小不等的磁性团簇,还发现掺杂元素的浓度对其磁性具有明显影响。
王红军
何俊
李梦
周霖
任克飞
刘传胜
郭立平
付德君
关键词:
铁电性
铁磁性
存储器
离子源辅助中频磁控溅射制备AlN薄膜
自行设计了一套阳极层离子源辅助中频磁控溅射装置,并在Si(111)衬底上制备了AIN薄膜。用X射线衍射、原子力显微镜和扫描电镜分析了AIN薄膜的结构、形貌和成分。在最佳实验条件下制备的AIN薄膜具有(002)晶向的强衍射...
任克飞
阴明利
邹长伟
付德君
关键词:
中频磁控溅射
ALN
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