刘嘉
- 作品数：15 被引量：13H指数：1
- 供职机构：北京航空航天大学更多>>
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- 相关领域：电气工程理学电子电信轻工技术与工程更多>>
- 一种纳米硅薄膜太阳能电池椭园偏振光谱实时监控制备方法
- 本发明一种纳米硅薄膜太阳能电池椭园偏振光谱实时监控制备方法，它有七大步骤。采用化学法对单晶硅片进行各向异性腐蚀，形成金字塔状的绒面硅片衬底；采用等离子体增强化学气相沉法制备晶态含量在50±5％之间，晶态峰在502-518...
- 张维佳马强宋登元刘嘉张雷马晓波范志强马登浩
- 文献传递
- 高电导率P型纳米硅薄膜的制备及其在薄膜太阳电池中的应用
- 采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法,以高氢稀释的硅烷(SiH4)为反应气体,硼烷(B2H6)为掺杂气体,氢气(H2)为稀释气体,在玻璃衬底上制备出掺硼的氢化纳米硅(nc-Si:H)薄膜,分别研究了衬...
- 杨东杰张维佳林军Jean Jacques HAVUGIMANA刘嘉孙月峰马强
- 关键词：RF-PECVD掺硼太阳电池
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- 高电导率P型纳米硅薄膜的制备及其在薄膜太阳电池中的应用
- 采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法,以高氢稀释的硅烷(SiH4)为反应气体,硼烷(B2H6)为掺杂气体,氢气(H2)为稀释气体,在玻璃衬底上制备出掺硼的氢化纳米硅(nc-Si:H)薄膜,分别研究了衬...
- 杨东杰张维佳林军Jean Jacques HAVUGIMANA刘嘉孙月峰马强
- 关键词：化学气相沉积法光电性能太阳电池
- 文献传递
- 一种等离子体增强型化学气相沉积真空设备
- 一种等离子体增强型化学气相沉积真空设备，它是一种形状、构造相同的连续性结构，该结构是由左法兰、主真空腔室、隔离板、高真空密封阀门装置、副真空腔室、右法兰、大密封板从左到右依序排列而组成，左法兰和主真空腔室之间采用氩弧焊连...
- 张维佳刘嘉马强孙月峰张冷吴然嵩
- 一种等离子体增强型化学气相沉积真空设备
- 一种等离子体增强型化学气相沉积真空设备，它是一种形状、构造相同的连续性结构，该结构是由左法兰、主真空腔室、隔离板、高真空密封阀门装置、副真空腔室、右法兰、大密封板从左到右依序排列而组成，左法兰和主真空腔室之间采用氩弧焊连...
- 张维佳刘嘉马强孙月峰张冷吴然嵩
- 文献传递
- 高品质AZO制备及其在硅基薄膜太阳电池中的应用
- 林军张维佳杨东杰Jean Jacques HAVUGIMANA孙月峰刘嘉马强
- 关键词：直流磁控溅射衬底温度纳米硅薄膜太阳电池
- 高品质AZO制备及其在硅基薄膜太阳电池中的应用
- 以自制的高电导、高致密度的掺铝氧化锌陶瓷靶为靶材,采用直流磁控溅射技术,在玻璃衬底上制备了ZnO:Al(AZO)薄膜.研究了衬底温度对AZO薄膜晶体结构、电学和光学性能的影响,并成功将其应用于纳米硅薄膜太阳电池的透明导电...
- 林军张维佳杨东杰Jean Jacques HAVUGIM A孙月峰刘嘉马强
- 关键词：纳米硅薄膜衬底温度光电性能
- 文献传递
- 一种纳米硅薄膜太阳能电池椭圆偏振光谱实时监控制备方法
- 本发明一种纳米硅薄膜太阳能电池椭圆偏振光谱实时监控制备方法，它有七大步骤。采用化学法对单晶硅片进行各向异性腐蚀，形成金字塔状的绒面硅片衬底；采用等离子体增强化学气相沉法制备晶态含量在50±5％之间，晶态峰在502‑518...
- 张维佳马强宋登元刘嘉张雷马晓波范志强马登浩
- 文献传递
- 铜铟镓硒薄膜的真空制备工艺及靶材研究现状被引量：13
- 2013年
- 阐述了两种真空法制备铜铟镓硒(CIGS)薄膜的工艺原理和工艺过程,比较和分析了两工艺的优缺点;介绍了溅射靶材的熔融铸造法和粉末冶金法,列举了靶材制备中所需的温度、压强、保温时间等参数。最后分析认为,用均匀细小的黄铜矿相CIGS粉末压制烧结成四元靶材,经溅射成膜后退火处理,可制备出优异的CIGS薄膜,具有更广阔的应用前景。
- 张冷张维佳宋登元张辉张雷马强刘嘉吴然嵩马晓波
- 关键词：CIGS真空
- 一种等离子体增强型化学气相沉积真空设备
- 一种等离子体增强型化学气相沉积真空设备，它是一种形状、构造相同的连续性结构，该结构是由左法兰、主真空腔室、隔离板、高真空密封阀门装置、副真空腔室、右法兰、大密封板从左到右依序排列而组成，左法兰和主真空腔室之间采用氩弧焊连...
- 张维佳刘嘉马强孙月峰张冷吴然嵩
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