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宋胤江

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：忠南大学更多>>
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合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇弹性模板
  • 1篇氧化物陶瓷
  • 1篇陶瓷
  • 1篇图案化
  • 1篇微加工
  • 1篇微加工技术
  • 1篇非氧化物
  • 1篇非氧化物陶瓷
  • 1篇SIC
  • 1篇SICN

机构

  • 1篇国防科学技术...
  • 1篇忠南大学

作者

  • 1篇宋胤江
  • 1篇李效东
  • 1篇王浩
  • 1篇金东杓

传媒

  • 1篇中国科学（E...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
图案化SiC和SiCN陶瓷微结构的制备
2006年
采用毛细管微模塑技术和转移微模塑技术,以硅片为栽片,以图案化聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性体为模板,以聚碳硅烷(PCS)和聚硅氮烷(PSZ)为先驱体,经过先驱体的渗入、先驱体的交联固化、弹性模板的去除以及图案化先驱体的无机化,制备了图案化SiC和SiCN陶瓷微结构.研究结果表明,所制备的陶瓷微结构的尺寸和形状受模板的图案化尺寸和形状控制.由于SiC和SiCN非氧化物陶瓷自身的优良性能将使得所制备的图案化SiC和SiCN陶瓷微结构在高温、高压等环境下具有非常广泛的应用前景.
王浩宋胤江李效东金东杓
关键词：微加工技术弹性模板非氧化物陶瓷图案化
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