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张燕娇

作品数:3 被引量:2H指数:1
供职机构:福建农林大学更多>>
发文基金:福建省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:机械工程金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 3篇应力
  • 2篇微机电系统
  • 2篇机电系统
  • 2篇MEMS
  • 2篇电系统
  • 1篇多晶铜
  • 1篇悬臂
  • 1篇悬臂梁
  • 1篇应力分析
  • 1篇应力研究
  • 1篇影响因素
  • 1篇微系统
  • 1篇微悬臂梁
  • 1篇细观
  • 1篇细观力学
  • 1篇晶胞
  • 1篇静电
  • 1篇静电力
  • 1篇ANSYS

机构

  • 3篇福建农林大学

作者

  • 3篇张燕娇
  • 2篇苏继龙

传媒

  • 1篇机电工程技术
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2012
  • 2篇2011
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
多晶铜微梁构件内部应力和强度影响因素的研究
在微机电系统(MEMS)中,影响多晶体微梁构件疲劳损伤的因素很多,如载荷方式、晶粒尺寸及其内部空间滑移系等,其中疲劳损伤的一个重要原因是是内部位错和晶界的滑移发生所致,而位错和晶界滑移与滑移系上的(分切)应力有关,且微梁...
张燕娇
关键词:MEMS多晶铜应力
微机电系统中悬臂梁固定端的应力分析被引量:2
2011年
运用Ansys模拟软件对不同厚度的微悬臂梁在同一电压下(未达到吸合电压)进行静电力分析,得到悬臂梁固定端的应力大小,同时得到此应力与厚度的关系。再根据力学相关解析式对固定端进行力学分析,通过比较两种方法得到的结论,发现结论是相反的,因此得出弹性模量E是决定微观材料性能的重要因素,以及静电力作用下的微悬臂梁存在机电耦合作用,单纯的力学解析式是没法精确计算得出的。
张燕娇苏继龙
关键词:微悬臂梁ANSYS静电力应力
微系统中铜微梁构件损伤的内部驱动应力研究
2011年
在微机电系统(MEMS)中,影响多晶体微梁构件疲劳损伤的因素很多,如载荷方式、晶粒尺寸及其内部空间滑移系等。重点是从多晶铜微梁构件的微观结构入手,分析引起微构件疲劳损伤的内在应力机制。首先由两个取向分别为[110]和[100]的多晶铜晶粒构造一定厚度微梁模型,运用细观力学方法分析微梁在外载作用下,其内部晶粒的多个晶胞中主要晶体学滑移方向上的应力应变状态及其定量表达;在此基础上,确定多晶铜微梁构件内部晶粒晶体学取向角度对其晶胞内滑移系驱动分切应力的影响规律,并初步分析了多晶材料微梁内部晶粒的几何排布对微梁构件损伤力学行为的影响。
苏继龙张燕娇
关键词:晶胞细观力学
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