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张鸿
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5
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供职机构:
厦门大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
张强
厦门大学
伞海生
厦门大学
余煜玺
厦门大学
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机构
5篇
厦门大学
作者
5篇
张鸿
4篇
伞海生
4篇
张强
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余煜玺
年份
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2017
1篇
2016
1篇
2015
1篇
2014
1篇
2013
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硅-玻璃基梁膜结构的超微压力传感器芯片及制造方法
硅-玻璃基梁膜结构的超微压力传感器芯片及制造方法,涉及一种超微压力传感器。提供一种高可靠性且适用于潮湿、酸碱、静电等恶劣环境下的具有自封装结构的硅-玻璃基梁膜结构的超微压力传感器芯片及制造方法。所述硅-玻璃基梁膜结构的超...
伞海生
张鸿
张强
余煜玺
文献传递
基于电子束曝光技术的L-波段高频声表面波传感器的研究
谐振型声表面波传感器因具有体积小、测量精度高、易于无线无源化等特点,能够胜任封闭狭窄环境及高速转部件等复杂条件下的温度、压力、振动、湿度、应变等环境参数的测量。目前,谐振型声表面波传感器多工作在P波段,器件和天线的尺寸相...
张鸿
关键词:
工作频段
电子束曝光技术
文献传递
一种基于宽禁带半导体纳米管阵列薄膜结构的同位素电池
一种基于宽禁带半导体纳米管阵列薄膜结构的同位素电池,涉及同位素电池。设有衬底、收集电极、半导体纳米管阵列薄膜和同位素辐射源,半导体纳米管阵列薄膜经过表面修饰和掺杂改性形成肖特基结或异质结,同位素辐射源位于半导体纳米管阵列...
伞海生
张强
张鸿
陈然斌
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硅-玻璃基梁膜结构的超微压力传感器芯片及制造方法
硅-玻璃基梁膜结构的超微压力传感器芯片及制造方法,涉及一种超微压力传感器。提供一种高可靠性且适用于潮湿、酸碱、静电等恶劣环境下的具有自封装结构的硅-玻璃基梁膜结构的超微压力传感器芯片及制造方法。所述硅-玻璃基梁膜结构的超...
伞海生
张鸿
张强
余煜玺
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一种基于宽禁带半导体纳米管阵列薄膜结构的同位素电池
一种基于宽禁带半导体纳米管阵列薄膜结构的同位素电池,涉及同位素电池。设有衬底、收集电极、半导体纳米管阵列薄膜和同位素辐射源,半导体纳米管阵列薄膜经过表面修饰和掺杂改性形成肖特基结或异质结,同位素辐射源位于半导体纳米管阵列...
伞海生
张强
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