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徐超
作品数:
29
被引量:29
H指数:3
供职机构:
中国科学院上海技术物理研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
理学
金属学及工艺
文化科学
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合作作者
孙士文
中国科学院上海技术物理研究所
杨建荣
中国科学院上海技术物理研究所
周昌鹤
中国科学院大学
虞慧娴
中国科学院上海技术物理研究所
盛锋锋
中国科学院上海技术物理研究所
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碲锌镉
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碲锌镉晶体
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红外
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单晶
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作者
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徐超
25篇
杨建荣
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孙士文
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激光与红外
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2016
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2014
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2013
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一种基于缩颈型坩埚的无坩埚壁接触式单晶生长方法
本发明公开了一种基于缩颈型坩埚的无坩埚壁接触式单晶生长方法,适用于晶体密度大于熔体密度的材料的大直径高质量单晶体生长。本发明利用碲锌镉(CdZnTe)熔体凝固时体积缩小的物理性质,设计了一种中部有缩颈的坩埚,并使晶体在坩...
孙士文
何力
杨建荣
周昌鹤
虞慧娴
徐超
盛锋锋
文献传递
一种碲锌镉晶体表面沉淀物腐蚀坑的识别方法
本发明公开了一种碲锌镉晶体表面沉淀物腐蚀坑的识别方法。包括晶体表面预处理、晶体表面清洗、配制腐蚀液并腐蚀晶体表面和观察识别晶体缺陷4个步骤,其特征在于:在观察识别晶体缺陷的步骤中使用常规光学显微镜对碲锌镉晶片表面的腐蚀坑...
盛锋锋
杨建荣
孙士文
周昌鹤
虞慧娴
徐超
文献传递
一种用于制备半导体材料的套管式腔体结构
本发明公开了一种用于制备半导体材料的套管式腔体结构,套管式腔体采用多层管子相套而成的结构,内管形成的腔体为材料制备提供需要的工艺环境和条件。通过选择套管的层数,控制套管之间的间隙和各层套管的长度,并采用在套管开口处加塞等...
杨建荣
徐超
文献传递
X射线衍射形貌术在碲锌镉晶体中的应用
被引量:2
2014年
碲锌镉晶体中存在着各种典型晶体缺陷,X射线衍射形貌术是一种非破坏性地整体研究晶体材料结构完整性、均匀性的有效方法。本文将反射式X射线衍射形貌术应用于碲锌镉晶体质量的评价,研究了入射线狭缝宽度、积分时间、扫描步长等测试参数以及样品表面加工状态对X射线衍射形貌的影响。结果表明入射线狭缝宽度对碲锌镉晶体的X射线衍射成像及晶体质量筛选应用影响很大,积分时间、样品扫描步长等测试参数的选择与入射线狭缝宽度密切相关。
孙士文
隋淞印
何力
周昌鹤
虞慧娴
徐超
关键词:
碲锌镉
晶体缺陷
碲锌镉衬底晶片切割损伤层的检测与控制研究
本文提出了梯度化学减薄腐蚀法对碲锌镉衬底晶片的切割损伤层厚度进行检测,先使用体积分数为1%-5%的溴甲醇溶液,对晶片(111)B面进行10-30分钟的化学梯度减薄,获表面为斜面的样品。再使用Everson腐蚀液揭示晶体的...
虞慧娴
孙士文
储远洋
周梅华
周昌鹤
徐超
杨建荣
关键词:
损伤层
碲锌镉
文献传递
两步法消除碲锌镉材料中富碲沉淀相缺陷的热处理方法
本发明公开了一种两步法消除碲锌镉材料中富碲沉淀相缺陷的热处理方法,该方法先将碲锌镉材料放置在富碲状态下进行热处理,使富碲沉淀相缺陷中过量的碲原子从样品中排出,然后再用富镉热处理对样品进行处理,使Cd原子进入液态的富碲沉淀...
杨建荣
徐超
盛锋锋
孙士文
文献传递
表面处理对Au-CdZnTe电极接触性能的影响
被引量:2
2016年
碲锌镉(CdZnTe)是制备X射线、γ射线探测器的一种理想半导体材料。CdZnTe欧姆接触电极是制备CdZnTe核辐射探测器的关键技术之一。表面加工状态是影响欧姆接触性能的重要因素,文中研究了4种表面处理工艺对Au-CdZnTe电极接触性能的影响。研究发现对晶片表面进行溴甲醇腐蚀处理和机械化学抛光均有助于提升Au-CdZnTe电极欧姆接触性能。对晶片进行机械化学抛光后再进行溴甲醇腐蚀处理,使用这种晶片所制备的电极具有更加优良的综合电学性能。
张大众
朱丽慧
孙士文
周昌鹤
虞慧娴
徐超
关键词:
碲锌镉
表面处理
欧姆接触
一种用于制备半导体材料的套管式腔体结构
本发明公开了一种用于制备半导体材料的套管式腔体结构,套管式腔体采用多层管子相套而成的结构,内管形成的腔体为材料制备提供需要的工艺环境和条件。通过选择套管的层数,控制套管之间的间隙和各层套管的长度,并采用在套管开口处加塞等...
杨建荣
徐超
文献传递
一种利用温度梯度合成碲锌镉多晶的合成装置
本专利公开了一种利用温度梯度合成碲锌镉多晶的合成装置。本合成装置包括加热氧化铝炉膛,内衬炉膛,控温系统,反应器皿,且可以进行两段独立或联合升降温。所述方法通过改变高温区和低温区的温场分布来实现温度梯度的调控,通过改变晶料...
徐超
周昌鹤
孙士文
虞慧娴
张大众
张诚
杨建荣
文献传递
红外光热吸收成像技术在碲锌镉材料检测中的应用
被引量:4
2019年
红外光热吸收效应作为一种无损伤非接触的检测技术已经被广泛用于硅等半导体材料中的微缺陷表征分析.采用光热吸收技术对碲锌镉晶体中的缺陷进行扫描成像分析时发现了一种连续性的光貌相条纹并对这些条纹的形成机理进行了研究.研究表明碲锌镉晶体中的这种连续性条纹源自于光热测试系统中入射光的干涉这种干涉和入射光参数、测试样品的厚度、禁带宽度以及热导率等材料特性密切相关.最后实验通过优化红外光热吸收测量系统获得了碲锌镉材料中的微缺陷结构及其在样品深度方向的三维分布图像.
徐超
孙士文
孙士文
董敬涛
杨建荣
关键词:
红外
碲锌镉
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