朱文选
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 供职机构：大连大学物理科学与技术学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 脉冲激光溅射沉积镱铒共掺Al_2O_3薄膜工艺参数优化被引量：1
- 2009年
- 分别以铝、铒、镱为靶材,采用脉冲激光沉积技术(PLD),在二氧化硅/硅基底上沉积镱、铒共掺的三氧化二铝薄膜。利用原子力显微镜(AFM)、单色仪等分析手段,研究了薄膜的表面形貌、光致发光强度(PL)等性质。优化了氧分压和靶间距两个重要工艺参数。光致发光强度提高14倍,半峰宽提高了70nm。
- 刘中凡郝雪朱文选宋昌烈
- 关键词：镱氧分压
- 脉冲激光溅射沉积光学增益薄膜实验研究被引量：2
- 2008年
- 用脉冲激光沉积方法,以多靶交替溅射方式,在SiO2/Si基底上沉积镱铒共掺Al2O3光学薄膜,讨论了脉冲激光能量对薄膜沉积速率、表面形貌、光致发光强度的影响。在脉冲激光能量较高条件下制备出的薄膜的光致发光性能较好,脉冲激光能量较低条件下制备出的薄膜的表面形貌较均匀。综合放大器增益系数对光致发光强度和光刻工艺对薄膜表面形貌的要求,薄膜应该在合适的激光能量下制备。脉冲激光溅射沉积方法与中频磁控溅射方法相比,在抑制上转换发光方面具有优越性。
- 刘中凡郝雪周松强朱文选宋昌烈
- 关键词：脉冲激光沉积表面形貌光致发光
