李婷
- 作品数：185 被引量：210H指数：8
- 供职机构：北京大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信医药卫生机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 一种Au-Si键合强度检测结构与试验
- 设计了一种Au-Si键合强度检测结构.通过对一组不同尺寸压臂式测试结构的检测,可以由结构尺寸半定量地折算出键合面的键合强度;采用同一结构尺寸,可以比较不同条件下键合强度的相对大小;此结构还可用于其它类型键合强度的比较和测...
- 王翔李婷王玮王颖田大宇张大成
- 关键词：共晶键合芯片测试键合强度
- 文献传递
- PECVDSiO_2/Si_3N_4双层膜驻极体性能被引量：1
- 2008年
- 本文研究了在带有Cr/Au电极的玻璃衬底上利用PECVD制备的SiO2/Si3N4双层膜驻极体性能。针对这种驻极体提出了一个简单的工艺流程暴露出一部分金属电极,并在电晕注极过程中将底电极引出接地。通过实验改变电晕注极过程中的注极时间、温度等因素,希望得到对PECVD制备的SiO2/Si3N4双层膜驻极体性能的优化。本文证实了PECVD双层膜具备良好的驻极体性能,有望广泛应用于微器件中。
- 陈治宇吕知秋张锦文金玉丰李婷田大宇王颖
- 关键词：驻极体PECVD
- 新的潜在髓系分化抗原LRRC25调控ATRA诱导的粒细胞分化
- 目的 :分析LRRC25的表达特征,鉴定该新的潜在髓系分化抗原并进行功能研究。方法 :采用生物信息学筛选新的潜在髓系分化抗原、分析LRRC25的表达特征、定位;采用RT-PCR、realtime PCR,并采用制备的多抗...
- 刘威利李婷王平章刘万常刘芙君莫晓宁刘正阳宋泉声吕平阮国瑞马大龙韩文玲
- 关键词：急性髓系白血病全反式维甲酸
- 文献传递
- 新的肿瘤相关基因或蛋白及其应用
- 本发明涉及一种新的肿瘤相关基因或蛋白及其应用，特别是涉及CMTM3的基因或蛋白或它们的免疫性片段，所述CMTM3的基因或蛋白或它们的免疫性片段在治疗和/或抑制肿瘤或在肿瘤辅助诊断、预后判断中的应用、包含CMTM3的载体或...
- 韩文玲马大龙王彧李婷钟吉邱晓彦张颖妹宋泉声李荷楠
- 文献传递
- 对准键合精度检测系统
- 本发明涉及一种对准键合精度检测系统，其特征在于它包括：一显微镜，一螺旋游标测量目镜，一CCD摄像机，一图像显示器，一红外光源，所述螺旋游标测量目镜连接在所述显微镜的垂直目镜的接口上，所述CCD摄像机连接在所述螺旋游标测量...
- 张大成李婷王颖王兆江郝一龙王阳元
- 文献传递
- 纳米宽度梁结构的制备方法
- 本发明提供一种纳米宽度梁结构的加工方法，属于纳电子机械系统(NEMS)加工工艺领域。该方法的工艺流程包括：台阶刻蚀、纳米宽度侧墙形成、纳米宽度梁结构形成和纳米宽度梁结构释放四个步骤。本发明能够加工出纳米宽度的梁结构，准确...
- 范炜张大成李婷罗葵田大宇李静王颖
- 文献传递
- U形阵列式微机械悬臂梁的研究被引量：8
- 2004年
- 为提高悬臂梁的分辨率 ,实现悬臂梁的多功能性 ,设计了一种U形阵列式压阻悬臂梁 .从理论上对悬臂梁的应力、噪声和灵敏度进行分析 ,优化了悬臂梁及力敏电阻的几何尺寸 .选用多晶硅为力敏材料 ,基于硅微机械加工技术 ,制备U形阵列式悬臂梁 .测量悬臂梁的噪声及灵敏度 ,得到多晶硅力敏材料的Hooge因子和应变灵敏度系数 ,分别为 3× 10 - 3和 2 7.在 6V偏压和 10 0 0Hz测量带宽条件下 ,计算悬臂梁的最小可探测位移为 0 5nm .同时对多晶硅力敏电阻噪声的产生机理进行了探讨 .
- 于晓梅张大成王丛舜李婷阮勇
- 关键词：悬臂梁分辨率灵敏度噪声力敏电阻
- 一种增强SOG工艺微结构键合强度的方法
- 本发明公开一种增强SOG工艺微结构键合强度的方法，该方法采用由多个锚点构成的组合式锚点结构进行微结构键合。该组合式锚点优选为阵列形式。可以通过拉伸或者剪切断裂试验确定使组合式锚点结构的键合强度最大的锚点数目，并作为组合式...
- 何军张大成黄贤赵丹淇林琛王玮杨芳田大宇刘鹏李婷罗葵
- 文献传递
- 一种电荷检测芯片及其制备方法
- 本发明公开了一种电荷检测芯片及其制备方法。该芯片包括双材料悬臂梁温度敏感结构和利用静电吸合原理获取等离子体密度的结构组成的测试单元，以应变电阻作为获取温度敏感结构和电荷收集结构形变的测试手段，采用多个测试单元以阵列的方式...
- 赵丹淇张大成罗葵王玮田大宇杨芳刘鹏李婷
- 微结构键合工艺检测方法及检测结构
- 本发明涉及一种微结构键合工艺结果的检测方法及用于该方法的检测结构。先设计包含微结构的硅结构版图；采用键合工艺方法制备微结构，硅结构和硅衬底或玻璃衬底通过键合面连接，硅结构至少有一端与键合面保有距离，并记录键合面积；用探针...
- 阮勇张大成郝一龙罗葵王玮李婷贺学锋胡维王阳元
- 文献传递
