王耀华
- 作品数：12 被引量：15H指数：3
- 供职机构：北京科技大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学金属学及工艺电子电信更多>>
- 光学级金刚石自支撑膜及其镀制Y_2O_3增透膜后的高温抗氧化性被引量：4
- 2009年
- 为了提高金刚石膜的红外透过率和高温抗氧化性能,采用纯钇(Y)金属靶,使用直流反应磁控溅射法在光学级金刚石自支撑膜表面制备了Y2O3薄膜。对比研究了光学级金刚石自支撑膜和Y2O3/Diamond/Y2O3复合窗口的高温抗氧化性能,及氧化前后样品表面形貌和红外透过率的变化情况。热分析、扫描电子显微镜和傅立叶变换红外光谱仪的研究结果表明Y2O3薄膜对光学级金刚石膜有非常好的抗氧化防护性能,在高达950℃的温度暴露30s后对光学级金刚石膜表面没有造成明显损伤,且仍能保持良好的增透效果(透过率超过80%)。
- 郭会斌吕反修李成明黑立富王耀华
- 关键词：抗氧化性能
- DC Arc Plasma Jet CVD金刚石自支撑膜的质量对物理性能的影响被引量：2
- 2007年
- 本研究对Raman谱进行高斯（Gauss）和洛仑兹（Lorenz）分峰拟合，将金刚石自支撑膜Raman谱分成纯金刚石峰和非金刚石峰，对比两种方法的精度，结果显示高斯拟合的精度高些。运用经验公式计算出金刚石自支撑膜的质量因子，发现质量因子主要受纯金刚石峰强度和无定型碳峰强度的影响，非金刚石峰强度与质量因子成反比，纯金刚石峰强与质量因子成正比，同时还受到内应力的影响。质量因子与热导率、断裂强度和红外透过率的关系表明，金刚石自支撑膜的以上物理性能与其质量成正比关系。
- 郭世斌王耀华陈飞吕反修唐伟忠佟玉梅
- 关键词：热学性能力学性能光学性能
- 静电辅助气溶胶化学气相沉积法制备Al_2O_3薄膜
- 2009年
- 以乙酰丙酮铝为前驱体,N,N-二甲基甲酰胺为溶剂,采用静电辅助的气溶胶化学气相沉积(ESAVD)方法,在Si(100)衬底上制备了Al2O3薄膜,并采用场发射扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪和自动划痕仪等设备对制备的薄膜进行了表征。结果表明:采用ESAVD法制备的Al2O3薄膜平整致密而且晶粒细小,薄膜与基体之间及薄膜内部都未出现开裂现象;薄膜与基体的结合力约为5.56 N;沉积得到的薄膜为化学计量比为2∶3的氧化物薄膜;退火前的薄膜为非晶态,在1 200℃退火保温2 h后薄膜转变为-αAl2O3。
- 王耀华贺琦李成明吕反修
- 关键词：氧化铝
- 静电辅助的气溶胶化学气相沉积法制备Y_2O_3薄膜被引量：2
- 2009年
- 采用静电辅助的气溶胶化学气相沉积的方法成功地在Si(100)衬底上制备了Y2O3薄膜,利用X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XRP)对薄膜进行了表征.SEM分析结果显示,薄膜的颗粒为纳米级的,并且薄膜致密、平整.AFM分析结果表明,薄膜的粗糙度为11nm.由XPS分析可知,薄膜为基本上符合化学计量比的氧化物.附着力测试表明,Y2O3薄膜与Si衬底的附着力为4.2N.X射线衍射分析结果表明,沉积得到的Y2O3薄膜在热处理前为非晶结构,热处理之后薄膜具有立方晶体结构,并且沿(111)面择优生长.
- 王耀华吕反修贺琦李成明唐伟忠
- 关键词：氧化钇粗糙度
- 反应磁控溅射法制备HfO_2金刚石红外增透膜被引量：4
- 2008年
- 采用纯铪(Hf)金属靶,在氧+氩反应气氛中进行了HfO2薄膜直流反应磁控溅射沉积。首先在单晶硅片上沉积薄膜,研究工艺参数改变对薄膜的影响,然后选择较优的工艺在金刚石表面沉积符合光学厚度的薄膜,达到增透减反射效果。利用X射线光电子能谱(XPS)研究了O2/Ar比例对薄膜组成的影响。利用X射线衍射仪(GIXRD)和椭偏仪(Ellipsometer)研究了不同衬底温度对氧化铪薄膜组织结构和光学性能的影响。采用傅立叶红外光谱仪(FTIR)检测了镀膜前后金刚石红外透过性能,发现双面镀制HfO2薄膜能够有效提高金刚石在8～12μm的红外透过性能,在8μm处最大增透可达21.6%,使金刚石红外透过率达到88%;在3～5μm范围,双面镀制了HfO2薄膜的金刚石平均透过率达66.8%,比没有镀膜的金刚石在该处的平均透过率54%高出12.8%。
- 郭会斌王凤英贺琦魏俊俊王耀华吕反修
- 关键词：HFO2薄膜红外透过率增透
- 静电辅助的气溶胶化学气相沉积法制备Y2O3薄膜的研究
- 用静电辅助的气溶胶化学气相沉积的方法成功的在Si(100)衬底上制备了Y2O3薄膜。0.01M乙酰丙酮钇的溶液在高压电场中被雾化为带电小颗粒,在Si(100)衬底上发生一系列的物理化学反应沉积薄膜。X射线衍射结果表明Y2...
- 王耀华吕反修贺琦李成明
- 关键词：气溶胶化学气相沉积
- 文献传递
- DC Arc Plasma Jet CVD金刚石自支撑膜的质量对物理性能的影响
- 本研究对 Raman 谱进行高斯(Gauss)和洛仑兹(Lorenz)分峰拟合,将金刚石自支撑膜 Raman 谱分成纯金刚石峰和非金刚石峰,对比两种方法的精度,结果显示高斯拟合的精度高些．运用经验公式计算出金刚石自支撑膜...
- 郭世斌王耀华陈飞吕反修唐伟忠佟玉梅
- 关键词：热学性能力学性能光学性能
- 文献传递
- 晶体结构对金刚石膜断裂强度的影响
- 本文应用XRD和SEM分析手段,对金刚石膜的晶体结构以及断面和生长面晶粒形貌特征进行了研究分析,探讨了晶体结构对金刚石膜的断裂强度的影响。研究结果表明,晶体取向的多样化对金刚石膜断裂强度有利;粗糙表面的晶粒间易产生V形口...
- 郭世斌王耀华牛得草吕反修唐伟忠佟玉梅
- 关键词：晶体结构金刚石膜
- 文献传递
- 晶体结构对金刚石膜断裂强度的影响
- 本文应用XRD和SEM分析手段,对金刚石膜的晶体结构以及断面和生长面晶粒形貌特征进行了研究分析,探讨了晶体结构对金刚石膜的断裂强度的影响.研究结果表明,晶体取向的多样化对金刚石膜断裂强度有利;粗糙表面的晶粒间易产生V形口...
- 郭世斌王耀华牛得草吕反修唐伟忠佟玉梅
- 关键词：晶体结构金刚石膜
- 文献传递
- 反应磁控溅射法制备Y_2O_3金刚石红外减反膜被引量：3
- 2008年
- 采用纯钇（Y）金属靶,在氧＋氩反应气氛中进行了Y2O3薄膜直流反应磁控溅射沉积。研究了工艺参数改变对薄膜的影响,选择较优的工艺在金刚石表面沉积符合光学厚度的薄膜,达到增透减反射效果。利用X射线光电子能谱（XPS）和扫描电子显微镜（SEM）研究了薄膜的组成和结构。利用X射线衍射仪（GIXRD）和椭偏仪（Ellipsometer）研究了不同衬底温度和热处理温度对氧化钇薄膜组织结构和光学性能的影响。采用傅立叶红外光谱仪（FTIR）检测了镀膜前后金刚石红外透过性能。研究发现Y2O3薄膜能够有效提高金刚石在8-12μm的红外透过性能,在8μm处最大增透可达21.8%,使金刚石红外透过率由66.4%提高到88.2%;在3-5μm范围,双面镀制了Y2O3薄膜的金刚石平均透过率达64.9%,比没有镀膜的金刚石在该处的平均透过率54%高出10.9%。
- 郭会斌魏俊俊王耀华贺琦吕反修唐伟忠
- 关键词：红外透过率
