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童强
作品数:
2
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供职机构:
北京航空航天大学材料科学与工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
一般工业技术
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合作作者
袁洪涛
北京航空航天大学材料科学与工程...
张阳
北京航空航天大学材料科学与工程...
张跃
北京航空航天大学材料科学与工程...
林煌
北京航空航天大学材料科学与工程...
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张阳
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童强
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袁洪涛
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年份
2篇
2004
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MOCVD制备定向生长ZnO压电薄膜
采用大气开放式金属有机化合物化学气相沉积(A-MOCVD)的方法,在普通多晶黄铜基片上制备ZnO薄膜.薄膜的SEM、XRD结果表明ZnO沿C轴取向垂直生长在基片上.综合分析ZnO自身晶体生长习性,提出了ZnO薄膜在普通多...
林煌
袁洪涛
童强
张阳
张跃
关键词:
ZNO薄膜
MOCVD
压电双晶片
文献传递
MOCVD制备定向生长ZnO压电薄膜
2004年
采用大气开放式金属有机化合物化学气相沉积(A-MOCVD)的方法,在普通多晶黄铜基片上制备ZnO薄膜.薄膜的SEM、XRD结果表明ZnO沿C轴取向垂直生长在基片上.综合分析ZnO自身晶体生长习性,提出了ZnO薄膜在普通多晶铜表面的生长模型.并将ZnO薄膜制备成压电双晶片元件,在光学显微镜下能观察到元件尖端产生了很大的位移量,结果表明高定向性ZnO薄膜具有优异的压电特性.该压电器件使得传统的小变形双晶片元件的数学模型失效,有必要建立新型大变形双晶片物理、数学模型.
林煌
袁洪涛
童强
张阳
张跃
关键词:
ZNO薄膜
MOCVD
压电双晶片
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