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基于紫外光/臭氧化学改性-选择性化学镀的聚甲基丙烯酸甲酯表面区域金属化被引量：2: 2012年; 研究以紫外光光化学反应为基础的在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)表面区域选择性金属化的方法.通过对无臭氧紫外光、紫外光+臭氧(UV/O3)、臭氧对PMMA表面亲水化改性效果的对比,发现仅有UV/O3可有效地使PMMA表面亲水.表面红外光谱表明,UV/O3对PMMA表面协同作用的结果是在辐照区域生成了羧基等含氧活性基团.以此含氧活性基团为基础,经过胺化、氯金酸阴离子交换、NaBH4还原等表面反应,在UV/O3作用区域形成化学镀所必须的金纳米催化中心,再将PMMA浸入镀金、镀铜等化学镀浴中,即可实现PMMA表面的区域金属化.以打印的菲林片为原始掩膜,该方法分辨率可达50μm或更小.以该法制备了金和铜的薄膜微电极、金膜微电热器等金属微器件,并表征了它们的物理化学性能.; 胡贤巧蒋艳何巧红施秧梦胡辰辰汤凝陈恒武; 关键词：聚甲基丙烯酸甲酯紫外光臭氧化学镀

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胡辰辰