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谷洪刚
作品数:
97
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H指数:1
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华中科技大学
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国家杰出青年科学基金
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相关领域:
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合作作者
刘世元
华中科技大学
江浩
华中科技大学
陈修国
华中科技大学
张传维
华中科技大学
杜卫超
华中科技大学
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2012
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一种光刻缺陷衍射光强差分检测方法
本发明属于光刻缺陷检测相关技术领域,其公开了一种光刻缺陷衍射光强差分检测方法,包括以下步骤:(1)构造入射照明矩阵P(m,n,U<Sub>0</Sub>),扫描入射待测含缺陷光刻样品O(x,y),获得待测含缺陷样品的近场...
谷洪刚
陈创创
刘世元
周玉
文献传递
一种材料光学跃迁分析方法及系统
本发明属于材料测量表征研究领域,并具体公开了一种材料光学跃迁分析方法及系统,其首先确定待分析材料的介电函数谱,并计算介电函数谱关于激发光能量的二阶导数谱,对二阶导数谱进行临界点分析以获取材料的临界点分析结果图;然后绘制材...
谷洪刚
宋宝坤
刘世元
方明胜
陈修国
江浩
文献传递
一种液晶可变相位延迟器偏振特性检测方法及系统
本发明公开了一种LCVR偏振特性检测方法及系统,属于光学元件检测领域。该方法利用穆勒矩阵描述LCVR,建立LCVR特征参数与穆勒矩阵元素之间的关系,该系统采用穆勒矩阵椭偏仪测量待检测LCVR的穆勒矩阵随电压变化的曲线,从...
谷洪刚
韦鹏
刘世元
宋宝坤
文献传递
一种二维材料层数快速识别方法及设备
本发明公开了一种二维材料层数识别方法,首先,将椭圆偏振光以基底布鲁斯特角入射到待测样品表面,探测得到反射光偏振信息,进而得到椭偏参数;然后将椭圆偏振光以基底的布鲁斯特角入射到空白基底表面,探测得到出射光偏振信息,得到椭偏...
谷洪刚
祝思敏
刘世元
宋宝坤
文献传递
一种二维材料复光导率确定方法
本发明属于二维材料测量领域,并具体公开了一种二维材料复光导率确定方法,其首先根据电磁波在待测二维材料中的传播效应确定对应的计算方式;对于传播效应弱的二维材料,将其等效为无限薄片层,将二维材料椭偏参数用其复光导率进行表示,...
刘世元
宋宝坤
谷洪刚
方明胜
郭正峰
陈修国
江浩
文献传递
高温加载下测量薄膜光学常数及形貌参数的装置及方法
本发明属于光学测量相关技术领域,并具体公开了一种高温加载下测量薄膜光学常数及形貌参数的装置及方法。所述装置包括光学常数测量模块和高温加热模块,高温加热模块包括高温加热腔、石英玻璃窗、高温加热台、高温台控制器以及气体流道单...
江浩
刘佳敏
刘世元
洪琳
谷洪刚
文献传递
一种旋转偏振器件光谱椭偏仪的数据分析方法及系统
本发明提供了一种旋转偏振器件光谱椭偏仪的数据分析方法及系统,属于精密光学测量仪器领域,方法包括:将各理论参数以及待测样件的预估膜厚输入至旋转偏振器件光谱椭偏仪的系统模型中,获取包含理论傅里叶系数的系统方程;采用旋转偏振器...
谷洪刚
刘世元
王敬军
江浩
文献传递
一种基于并行迭代的离焦扫描叠层衍射成像的方法和系统
本发明公开了一种基于并行迭代的离焦扫描叠层衍射成像的方法和系统。所述离焦扫描叠层衍射成像的方法包括测量实际照明探针作用于待测样品而产生的测量衍射光场强度,获得初始探针、待测样品和猜测的衍射光场信息,然后通过叠层衍射成像算...
谷洪刚
杜锦祥
刘力
刘世元
一种高数值孔径衍射光场曲率校正方法及系统
本发明提供了一种高数值孔径衍射光场曲率校正方法及系统,属于衍射光场传播领域,该方法为:建立高数值孔径曲率校正模型,根据其对采集到的光强进行修正,以获得高数值孔径下的校正光强;将探测器观测平面的坐标修正到高数值孔径曲率校正...
谷洪刚
钟磊
刘世元
刘力
李文杰
一种透明材料冲击动力学参数获取方法
本发明属于材料冲击动力学参数测量领域,并公开了一种透明材料冲击动力学参数获取方法。该方法包括:(a)建立了平稳冲击波加载下透明薄膜样品的双层薄膜分层模型(b)利用第一性原理,证明了P偏振光以布儒斯特角入射样品时,反射光相...
江浩
钟志成
刘世元
刘佳敏
谷洪刚
张传维
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