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赵洪吉
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中国科学院
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相关领域:
机械工程
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王光玉
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张振厚
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张立国
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袁亮
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郑锐
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2009
3篇
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一种超高真空手、气动闸板阀密封装置
本实用新型涉及一种应用在超高真空手、气动闸板阀密封装置。包括上、下阀板、控制单元及阀体,阀体内设有阀板架,上、下阀板分别安装在阀板架的两侧;阀板架的一端设有定位轴,另一端设有轴承,阀板架的两侧及连接上阀板的一面设有导向轴...
袁亮
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张立国
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超高真空手、气动闸板阀
本发明涉及超高真空系统中的闸板阀,具体地说是一种用于调节气体流量,切断或接通管路的超高真空手、气动闸板阀,包括上阀板、下阀板及阀体,阀体内设有阀板架,上、下阀板分别安装在阀板架的两侧,上、下阀板与阀板架相对的表面分别均布...
袁亮
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赵洪吉
张立国
张振厚
王光玉
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罗茨干泵(机组)
张振厚
王光玉
秦柏林
张利国
薛玉茹
刘坤
张健
赵洪吉
刘在行
郭丽娟
郭俊辉
房伟
罗茨杆泵(机组)是集成电路(IC)芯片生产线中创造和维持清洁真空环境的关键设备,由于技术门槛高,国外大公司垄断了全球95%以上的市场份额,国内产品在工程化应用方面尚属于空白。 罗茨杆泵(机组)立项任务书的技术指标为: ...
关键词:
一种超高真空手、气动闸板阀
本实用新型涉及超高真空系统中的闸板阀,具体地说是一种用于调节气体流量,切断或接通管路的超高真空手、气动闸板阀,包括上阀板、下阀板及阀体,阀体内设有阀板架,上、下阀板分别安装在阀板架的两侧,上、下阀板与阀板架相对的表面分别...
袁亮
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赵洪吉
张立国
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