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赵洪吉

作品数:4 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院更多>>
相关领域:机械工程更多>>

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 3篇阀板
  • 3篇板簧
  • 3篇板架
  • 3篇超高真空
  • 2篇真空系统
  • 2篇气体流量
  • 2篇高真空
  • 2篇高真空系统
  • 2篇超高真空系统
  • 1篇银丝
  • 1篇罗茨
  • 1篇密封法
  • 1篇干泵

机构

  • 4篇中国科学院

作者

  • 4篇张振厚
  • 4篇赵洪吉
  • 4篇王光玉
  • 3篇郑锐
  • 3篇袁亮
  • 3篇张立国
  • 1篇薛玉茹
  • 1篇张健
  • 1篇刘在行
  • 1篇郭丽娟
  • 1篇张利国
  • 1篇房伟
  • 1篇刘坤
  • 1篇秦柏林
  • 1篇郭俊辉

年份

  • 1篇2009
  • 3篇2008
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
一种超高真空手、气动闸板阀密封装置
本实用新型涉及一种应用在超高真空手、气动闸板阀密封装置。包括上、下阀板、控制单元及阀体,阀体内设有阀板架,上、下阀板分别安装在阀板架的两侧;阀板架的一端设有定位轴,另一端设有轴承,阀板架的两侧及连接上阀板的一面设有导向轴...
袁亮郑锐赵洪吉张立国张振厚王光玉
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超高真空手、气动闸板阀
本发明涉及超高真空系统中的闸板阀,具体地说是一种用于调节气体流量,切断或接通管路的超高真空手、气动闸板阀,包括上阀板、下阀板及阀体,阀体内设有阀板架,上、下阀板分别安装在阀板架的两侧,上、下阀板与阀板架相对的表面分别均布...
袁亮郑锐赵洪吉张立国张振厚王光玉
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罗茨干泵(机组)
张振厚王光玉秦柏林张利国薛玉茹刘坤张健赵洪吉刘在行郭丽娟郭俊辉房伟
罗茨杆泵(机组)是集成电路(IC)芯片生产线中创造和维持清洁真空环境的关键设备,由于技术门槛高,国外大公司垄断了全球95%以上的市场份额,国内产品在工程化应用方面尚属于空白。  罗茨杆泵(机组)立项任务书的技术指标为: ...
关键词:
一种超高真空手、气动闸板阀
本实用新型涉及超高真空系统中的闸板阀,具体地说是一种用于调节气体流量,切断或接通管路的超高真空手、气动闸板阀,包括上阀板、下阀板及阀体,阀体内设有阀板架,上、下阀板分别安装在阀板架的两侧,上、下阀板与阀板架相对的表面分别...
袁亮郑锐赵洪吉张立国张振厚王光玉
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共1页<1>
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