邵净羽
- 作品数：11 被引量：10H指数：3
- 供职机构：浙江大学更多>>
- 相关领域：电子电信理学金属学及工艺一般工业技术更多>>
- 石英晶振器件的激光刻蚀频率微调研究
- 石英晶体谐振器,以其优良频率稳定度、高Q值、高振荡频率及体积小巧等特点,在军事、通讯、计算机、家用电器及各种工业电子设备中得到了广泛的应用。随着科学技术的不断发展,对石英晶体谐振器精确度的要求越来越高,精确调节石英晶体谐...
- 邵净羽
- 关键词：激光刻蚀激光微调石英晶振离子束刻蚀激光损伤
- 文献传递
- 关于真空激光减薄技术的研究
- 本文提出了一种可以精确、快速、清洁的减薄膜层的技术——真空激光减薄技术。真空激光减薄技术,是指利用激光器发出的脉冲激光束聚焦成直径很小的光斑,并调节到适当的能量密度,对于处在真空环境中的待减薄膜层进行高速扫描,使膜层汽化...
- 邵净羽王德苗任高潮徐电
- 关键词：激光减薄
- 溅射膜电极贴片电感及其生产方法
- 本发明属于基本电器元件技术领域，特别是涉及一种溅射膜电极贴片电感及其生产方法；所述电感包括骨架和线圈，所述骨架的一个端面上设有电极层，所述线圈的线头与电极层相固接，其特征在于所述电极层至少由一层溅射薄膜构成，所述溅射薄膜...
- 王德苗任高潮董树荣金浩顾为民邵净羽
- 文献传递
- 带有溅射膜电极的电感骨架及其生产方法
- 本发明属于基本电器元件技术领域，特别是涉及一种带有溅射膜电极的电感骨架及其生产方法，它包括骨架和金属电极层，骨架采用高分子聚合物材料制成，在骨架端面上贴合有金属电极层，所述溅射膜为层状导电体，其特征在于所述电极层至少由两...
- 王德苗任高潮董树荣金浩顾为民邵净羽
- 文献传递
- 带有溅射膜电极的电感骨架及其生产方法
- 本发明属于基本电器元件技术领域，特别是涉及一种带有溅射膜电极的电感骨架及其生产方法，它包括骨架和金属电极层，其特征在于所述骨架采用高分子聚合物材料制成，在骨架端面上贴合有金属电极层，该电极层至少由一层溅射薄膜构成，所述溅...
- 王德苗任高潮董树荣金浩顾为民邵净羽
- 文献传递
- 贴片电感骨架的筒体型镀膜装置
- 本发明涉及一种贴片电感骨架的筒体型镀膜装置，它包括金属筒体、真空抽气装置和惰性气体充气机构，所述真空抽气装置和惰性气体充气机构分别与筒体相连通，其特征是在筒体内腔中设有清洗区、镀膜区和传递区，所述传递区内设有工件架，该工...
- 王德苗任高潮董树荣金浩顾为民邵净羽
- 文献传递
- 贴片电感骨架的筒体型镀膜装置
- 本发明涉及一种贴片电感骨架的筒体型镀膜装置，它包括金属筒体、真空抽气装置和惰性气体充气机构，所述真空抽气装置和惰性气体充气机构分别与筒体相连通，其特征是在筒体内腔中设有清洗区、镀膜区和传递区，所述传递区内设有工件架，该工...
- 王德苗任高潮董树荣金浩顾为民邵净羽
- 文献传递
- 贴片电感骨架的连续镀膜装置
- 本发明涉及一种贴片电感骨架的连续溅射镀膜设备，它包括机体、真空抽气装置和惰性气体充气机构，所述真空抽气装置和惰性气体充气机构分别与机体相连通，其特征在于所述机体由依次相通的预抽室、清洗室、溅射腔室和出片室构成，机体内设有...
- 王德苗任高潮董树荣金浩顾为民邵净羽
- 文献传递
- 关于真空激光减薄薄膜技术的研究
- 本文提出了一种可以精确、快速、清洁的减薄薄膜的技术——真空激光减薄技术。所谓真空激光减薄技术,是指利用激光器发出的脉冲激光束聚焦成直径很小的光斑,并调节到适当的能量密度,对于处在真空环境中的待减薄膜层进行高速扫描,使膜层...
- 邵净羽王德苗任高潮
- 关键词：激光减薄
- 文献传递
- 关于真空激光减薄薄膜技术的研究被引量：3
- 2008年
- 本文提出了一种新颖的可精确、快速、清洁的减薄薄膜的技术——真空激光减薄技术。即指利用激光器发出的脉冲激光束聚焦成直径很小的光斑,调节到适当的能量密度,对真空环境中的薄膜层进行高速扫描,从而减薄膜层。实验中,将此种技术对石英晶片表面膜层进行减薄。根据石英晶振谐振频率与其表面膜层厚度之间的反比关系,来间接测量激光对于石英晶振的膜厚减薄量。实验证实了真空激光减薄方法的可行性。膜层减薄厚度最小可达15.9,对应频率改变量为12Hz,亦即频率改变量可达2ppm以下。减薄速率可达到每秒1～2个石英晶振片。
- 邵净羽王德苗任高潮
- 关键词：激光减薄石英晶体谐振器
