郑丽
- 作品数：10 被引量：17H指数：3
- 供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- 集成加热功能双模块湿敏电容衬底材料研究被引量：3
- 2010年
- 为实现在高空高湿环境下对湿度的准确测量,研制出一种集成加热功能的湿敏电容,理论分析、计算仿真及试验验证三方面针对这种加热功能湿敏电容的衬底材料进行研究。
- 金建东郑丽司良有王明伟
- 关键词：衬底材料湿敏电容
- 高分子湿敏电容的设计被引量：4
- 2006年
- 从传感器功能要求出发,阐述了高分子湿敏电容正向设计规则。介绍了电容型高分子湿敏元件的感湿机理、元件结构、工艺过程和感湿材料设计方法,同时以应用示例给予说明。
- 金建东王朝晖郑丽卢崇考
- MEMS技术在集成加热功能的双模块湿度传感器中应用研究被引量：1
- 2010年
- 在需要温湿度变化剧烈的环境中,湿度准确测量的最佳方案是采用单片集成的具有除湿功能的湿度传感器,本文采用MEMS(Micro-electro-mechanical system)技术,研制出集成加热元件的双模块湿度传感器,可以实现湿度测量中交替加热除湿和交替测试功能,具有测试响应时间短、除湿功耗低、响应快速的特点。
- 金建东郑丽王震
- 关键词：MEMS湿度传感器
- 多晶硅薄膜制备工艺及其应用发展被引量：1
- 2014年
- 多晶硅薄膜在一些半导体器件及集成电路中得到了广泛的应用。由于多晶硅生产成本低,效率稳定性好、光电转换效率高,多晶硅薄膜的研究备受关注。目前多晶硅薄膜已广泛地用于各种微电子器件的制造,其用途从栅极材料和互联引线发展到绝缘隔离、钝化、太阳能电池、各种光电器件等。文章介绍了制备多晶硅薄膜的多种工艺方法,结合现有工艺条件制作多晶硅纳米薄膜,根据多晶硅压阻特性理论进行了LPCVD纳米薄膜工艺试验,研究了工艺条件对多晶硅纳米薄膜应变系数的影响,选取了优化的工艺条件,为多晶硅纳米薄膜在今后压阻式压力传感器中的应用奠定基础。
- 李海博尹延昭郑丽
- 关键词：多晶硅压阻特性
- 降低高分子电容式湿敏元件湿滞的实验研究被引量：6
- 2015年
- 针对高分子电容式湿敏元件的湿滞无法通过后续电路完全实现补偿的问题,提出了从高分子电容式湿敏元件本身降低湿滞的方法。主要从制作工艺、湿敏材料的选择两方面进行了实验验证,并对制作完成的高分子电容式湿敏元件进行性能测试与数据分析。实验结果表明:通过控制制作工艺和对湿敏材料进行改性可以降低湿滞,湿滞优于1.5%RH。采用该方法制作的湿敏元件无需再次通过后续电路进行湿滞补偿。
- 郑丽金建东司良有王成杨张鹏王亚彬
- 关键词：湿敏元件湿敏材料
- 基于外部激活表面高温状态下的硅-硅键合被引量：1
- 2015年
- 提出了一种应用于硅-硅键合过程中表面激活的新方法,采用复合激活的方式,使预键合的硅片表面分别通过化学溶液激活和UV光激活相互结合的手段获得较高的表面态。经键合机预键合后,在高温炉中完成原子轨道重叠,实现硅-硅键合。通过镜下检查和破坏性实验等方式分别对键合的效果和强度进行深入测试,并给出相应的实验效果图和测试结果。实验结果表明,采用新激活方法的键合界面无空洞且均一性良好,键合强度高,证明了新激活方法的可行性和优越性。针对高温键合工艺过程中容易产生空洞这一问题提出了新的解决方案。
- 王亚彬王晓光郑丽王成杨宋尔冬
- 关键词：表面态高温退火键合强度
- 电容式高分子湿敏材料功能设计被引量：4
- 2007年
- 以物理化学中的吸附理论为出发点,探讨高分子材料的感湿机理,研究了高分子湿敏材料的微观结构与灵敏度、湿滞、温度系数、长期稳定性等性能指标的内在联系,结合理论分析和实践提出了电容式高分子湿敏材料的功能设计方法,选取聚酰亚胺和制作的敏感元件对该理论进行验证,实验结果表明该方法有很强的可操作性。
- 郑丽金建东卢崇考
- 关键词：感湿机理
- 电容式聚酰亚胺湿敏元件保护膜研究被引量：1
- 2016年
- 采用49-1,PI-5,DOW184以及CAB551四种有机物作为湿敏元件的保护层材料,制作带有保护层的电容式湿敏元件,并对其湿度响应特性与耐污染能力进行研究。实验结果表明,49-1具有更好的综合性能,其湿滞变化为0.18%RH,涂覆后响应时间为11s,污染后初始容值变化为0.190p F,相比于无保护膜的湿度敏感元件变化值减小约20倍,具有良好耐污染特性。该层薄膜不仅起到了保护湿敏元件的作用,且可以降低湿敏元件在有机污染物中的漂移,提高电容式湿敏元件的稳定性。
- 王成杨王亚彬金建东郑丽司良有
- 关键词：传感器电容式保护层
- 湿敏元件在恶劣环境下的失效机理分析被引量：1
- 2010年
- 介绍了电容式高分子湿敏元件的基本结构及制造工艺。分析了湿敏元件在恶劣环境下的失效机理及产生的原因,指出了感湿膜中的颗粒状缺陷是造成湿敏元件在恶劣环境下失效的主要原因。提出了在湿敏元件制作、上电极工艺制造技术和湿敏元件筛选检验的改进措施。
- 张广学司良有金建东刘其中郑丽
- 关键词：湿敏元件
- 一种提高引导精度的坐标转换算法被引量：2
- 2020年
- 在跟踪模块和打击模块协同工作的设备中,打击模块需要高精度的引导数据。传统方法并未考虑跟踪模块和打击模块之间的位置差距,导致指向数据也存在一定偏差。提供了一种根据跟踪模块提供的指向和距离信息,计算出目标相对于打击模块的准确指向信息的方法,并将此方法和原始方法之间的差异进行对比。
- 朱有德贾子尧郑丽
