郝中洋
- 作品数：28 被引量：18H指数：3
- 供职机构：北京空间机电研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术机械工程理学更多>>
- 光刻机工件台与掩模台同步控制算法研究及实现
- 步进扫描光刻机的研发工作是国内的重大科技专项之一,本文以光刻机工件台和掩模台控制系统研究为背景,为满足曝光扫描时各个子系统的任务调度、大量数据传输和工件台与掩模台的同步偏差控制任务而进行了下述工作。 本文首先对光刻机发...
- 郝中洋
- 关键词：光刻机任务调度运动特性
- 基于VME总线的多轴运动控制装置
- 基于VME总线的多轴运动控制装置，涉及基于VME总线的运动控制装置，解决了目前VME的接口芯片多为早期产品而速度无法满足多轴控制的问题，它包括VME接口模块、FPGA模块、光纤、存储器模块、光纤接口模块、DSP模块、时钟...
- 陈兴林姜晓明杜威王程郝中洋
- 文献传递
- 一种二维指向机构伺服控制方法及系统
- 本发明公开了一种基于图像反馈和光学矢量理论的二维指向机构伺服控制方法及系统，通过在主光路中增加测量相机，并利用成像的快速图像处理结果作为馈源，建立图像伺服闭环回路，通过图像反馈对快速扫摆镜进行主动控制，完成调整相机主光轴...
- 郝中洋于飞张凤崔辰鹏张晓敏耿振华陈子印张超
- 文献传递
- 5米光学02星高分辨率高灵敏度大幅宽热红外相机设计与实现
- 2024年
- 2021年12月26日,5米光学02星在太原卫星发射中心成功发射,星上装载的主要载荷之一热红外相机采用8192元长线阵长波红外探测器推扫成像,可以获取星下点地面像元分辨率优于16 m、噪声等效温差小于0.1 K@300 K、幅宽大于115 km的7.7—10.5μm谱段热红外影像。相比国内外在轨热红外遥感相机,该相机同时实现高分辨率、高灵敏度和大幅宽观测,能够实现空间和温度的高效率精细化探测,具有明显优势。文章介绍了该相机的组成、工作原理、相机关键技术及实现情况,给出地面测试与试验结果,并简要介绍在轨测试和应用情况。相机目前在轨稳定运行,性能优异,已获取大量高分辨率热红外影像,可为后续同类载荷研制提供参考。
- 童卫明李昊谦聂云松马军闫秀荣邢辉高长春王保华孙启扬蔡帅郝中洋李岩
- 关键词：红外探测器
- 一种用于空间光学遥感器随动系统的同步控制方法
- 一种用于空间光学遥感器随动系统的同步控制方法，利用预先设定的指标要求，设计主轴扫描系统和从轴扫描系统的位置伺服指令；设计主轴跟踪误差控制器，使主轴系统的旋转扫描运动控制性能满足预先设定的扫描线性度要求；设计从轴跟踪误差控...
- 李婧康建兵林喆李寅龙陈子印郝中洋宋莉张超
- 文献传递
- 一种应用于空间环境的半导体制冷器闭环控制方法
- 本发明涉及一种应用于空间环境的半导体制冷器闭环控制方法，属于航天光学遥感器技术领域。使用桥式串联电路采集探测器焦面的当前温度V1；探测器焦面的当前测量温度的表征参数V1与目标温度的表征参数V2经过运算放大器求差放大后送到...
- 崔辰鹏刘雪峰宋莉王淳张超赵丽婷郝中洋康晓军
- 文献传递
- 面向空间目标观测的垂轴运动变焦方法研究
- 2022年
- 在空间目标观测时,既需要大视场的全局掌控,也需要局部细节的精细观察。而凸轮变焦方法对镜组间的轴向位移需求较大,对运动机构的精度和行程提出很高的要求。为了解决长行程的问题,文章提出一种基于垂轴运动的光学变焦方法:首先,建立自由曲面透镜组数学模型;然后,结合垂轴运动变量,推导出光学系统垂轴变焦的物理模型。通过设计仿真表明,实现2.8倍的光学变焦只需要毫米量级的位移调节量,可采用压电陶瓷作为驱动元件。光学垂轴变焦方法可以有效缩小变焦运动量,减小成像系统的尺寸,在空间相机中具有应用价值。
- 蒋婷婷李奇李奇徐之海
- 关键词：压电驱动光学变焦光学遥感器
- 步进扫描光刻机加速时间段的S曲线规化被引量：2
- 2012年
- 为提高步进扫描式光刻机的生产效率,提出了一种具有时间最优和冲击最小的5阶S曲线。在最大扫描速度恒定的前提下,以最小时间和冲击为优化指标,设计了加速时间段内的5阶S曲线。在优化指标冲击力项中引入了可变参数,可以根据加速时间和执行电机进行调整,在光刻机设备允许的范围内缩短加速时间。仿真结果表明,相对于数值方法设计的S曲线,优化S曲线加速时间明显缩短并且加速度曲线平滑。冲击力项系数对加速时间和S曲线的平滑性有很大影响。
- 武志鹏陈兴林郝中洋
- 关键词：S曲线
- 一种干涉型傅立叶变换光谱仪摆臂运动控制系统
- 本发明提出了一种干涉型傅立叶变换光谱仪摆臂运动控制系统。利用半导体激光器发出激光光束，进入傅立叶变换光谱仪光学系统后随摆臂运动形成光程差，从而产生P光和S光两路正交的干涉条纹，被激光探测器感知后经光电转换生成微弱正弦信号...
- 康建兵李寅龙李婧宋莉黄刚郝中洋崔辰鹏徐彭梅
- 文献传递
- 基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法
- 基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法，本发明具体涉及基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法。它为了解决步进扫描光刻机曝光过程中的同步误差大，光刻效率低的问题。本发...
- 刘杨郝中洋李聪王公峰闫华星彭贵勇陈兴林
