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国外硬质膜离子镀技术及其进展被引量：2: 1993年; 本文综合介绍国外硬质膜离子镀技术的近况,分別就硬质膜的应用、新型镀膜材料的性能及其应用等方面作了说明。; 王世雄陈长川; 关键词：硬质膜镀膜设备镀膜材料离子镀

国产“多弧”设备的镀层工艺研究: 1990年; 一、前言“多弧”离子镀技术,最早由苏联人开发。八十年代初,美国的Multi-Arc公司和Vac-Tech公司先后用于切削刀具的TiN镀层,取得了极大的成功。而后,随着“多弧”技术的改进和镀层刀具的普遍使用,越来越受到人们的重视,是一种用途很广的新工艺。“多弧”离子镀技术具有离化率高、蒸镀速率快、离子能量高、温度易控、结构简单、可蒸镀多种材料等优点。但其卓越的性能能否充分发挥将取决于设备性能的稳定和镀层工艺的研究。本文总结了我们在北京仪器厂生产的DHD-600F“多弧”设备上进行TiN镀层工艺研究的经验。; 陈长川周彤; 关键词：离子镀苏联人离子能量氮分压镀层厚度

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陈长川