陈闽捷
- 作品数：4 被引量：1H指数：1
- 供职机构：华南理工大学机械与汽车工程学院机械电子工程系更多>>
- 发文基金：广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信交通运输工程理学更多>>
- 广州华南快速干线监控系统工程设计思考
- 2004年
- 监控系统是城市(际)道路交通机电系统的重要子系统之一。广州华南快速干线是广州市车流量最大的高速公路,是一条集城市道路和城际道路功能于一体的高速公路,其出入多,车流大,要求对该路实现全路实时、多方位、全过程的监控,系统的要求极高。故该监控系统的设计方案对于国内其他高速公路极具参考价值。
- 陈闽捷
- 关键词：监控系统工程设计机电系统城市道路
- 低温PECVD法形成纳米级介质膜微观结构研究被引量：1
- 2004年
- 采用俄歇电子能谱 ( AES)和傅里叶红外光谱 ( FTIR)分析低温 PECVD法形成纳米级 Si Ox Ny 介质膜的微观组分结构及其与制膜工艺间关系 ,通过椭圆偏振技术测试该薄膜的物理光学性能。研究结果表明 :该介质膜中氮、氧等元素均匀分布 ,界面处元素含量变化激烈 ;高、低反应气压变化对膜内微观组分影响有异 ;该薄膜是既含有类似 Si3N4 、又含有类似 Si O2 的非晶状态 ,呈现无序网络结构 ;随着含氮量或含氧量的增多 ,该膜分别向Si3N4 或 Si O2 成分较多的结构转化 ;优化制膜工艺形成的富氮 Si Ox Ny 膜的性能与结构方面得到提高。
- 陈蒲生陈闽捷张昊刘小阳王锋
- 关键词：介质膜俄歇电子能谱傅里叶红外光谱电学性能
- 非接触式智能IC卡收费系统的设计
- 本论文对高速公路非接触式智能IC卡收费系统作全面系统的设计.首次从系统工程的高度,结合多年的开发和管理经验,围绕着突出防作弊的目标,确定系统的原则、特点,通过分析系统的内在特点,根据需求引入最新的技术应用,确定系统方案,...
- 陈闽捷
- 关键词：高速公路收费系统系统设计计算机网络
- 文献传递
- PECVD形成纳米级薄膜界面陷阱特性的雪崩热电子注入研究
- 2004年
- 采用雪崩热电子注入技术研究了纳米级SiOxNy薄膜界面陷阱特性。证实了PECVD SiOxNy薄膜中界面陷阱来源于悬挂键的物理模型。观察到该纳米膜内存在着受主型电子陷阱,随着注入的增长,界面上产生的这种陷阱将起主导作用。发现到界面陷阱密度随雪崩热电子注入剂量增加而增大,禁带上半部增大得较下半部显著。指出了雪崩注入过程中在SiOxNy界面上产生两种性质不同的电子陷阱,并给出它们在禁带中的位置与密度大小关系。揭示出PECVD法形成的SiOxNy纳米膜与快速热氮化制备的这种薄膜中、氮氧含量不同、界面陷阱特性变化关系不一样,并从形成薄膜氮化机制上予以合理的物理解析。给出了PECVD形成纳米级薄膜的优化工艺条件。
- 陈蒲生陈闽捷张昊
- 关键词：PECVD
