顾华勇
- 作品数：6 被引量：4H指数：2
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 基于修正等效介质理论的微纳深沟槽结构反射率快速算法研究被引量：2
- 2008年
- 利用等效介质理论和严格耦合波理论研究比较微纳米级高深宽比深沟槽结构的红外反射谱,提出一种对等效折射率加入色散修正项的深沟槽结构反射率快速算法.通过超越色散方程分析和大量计算发现,加入的等效折射率色散修正项与波长的平方成反比,并且与深沟槽结构的材料、周期和占空比有关.这种新的计算方法可以非常精确地获得高深宽比深沟槽结构的反射率,而且明显提高了运算速度,在复杂深沟槽结构基于模型的红外反射谱测量中具有重要的应用价值,可以应用于微电子和微机电系统制造过程中高深宽比微纳深沟槽结构刻蚀进度的在线实时监测.
- 刘世元顾华勇张传维沈宏伟
- 关键词：严格耦合波理论反射率
- 一种微纳深沟槽结构测量装置
- 本实用新型公开了一种微纳深沟槽结构测量装置，包括红外光源、干涉仪、探测光路、样品台、接收光路、探测器、放大器、滤波器、模数转换器和计算机；红外光源、干涉仪和探测光路依次位于同一光路上，探测光路的出射光与样品台的上表面法线...
- 刘世元史铁林张传维顾华勇沈宏伟
- 文献传递
- 一种微纳深沟槽结构测量方法及装置
- 本发明公开了一种微纳深沟槽结构测量方法及装置，能够同时测量微纳深沟槽结构沟槽深度、宽度和薄膜厚度。其方法是将红外光束投射到含有深沟槽结构的硅片表面，分析从深沟槽结构各分界面反射形成的干涉光得到测量反射光谱；采用等效介质理...
- 刘世元史铁林张传维顾华勇沈宏伟
- 文献传递
- 微纳深沟槽结构光学反射特性与参数提取算法研究
- 在微电子和微机电系统(MEMS)设计与制造工艺过程中，目前广泛采用了高深宽比的深沟槽结构，传统的测量方式无法实现对其深度的测量，因此需要采用光学的方法对深沟槽结构的尺寸进行精确检测。本学位论文在国家高技术研究发展计划（8...
- 顾华勇
- 关键词：微机电系统光学特性耦合波
- 文献传递
- 基于傅里叶变换红外反射谱的DRAM深沟槽结构测量系统研究被引量：2
- 2009年
- 提出了一种基于傅里叶变换红外(FTIR)反射谱的动态随机存储器(DRAM)深沟槽结构测量方法与系统。给出了测量原理与方法,设计了测量系统光路。通过可变光阑调节探测光斑大小并选择合适的入射角,消除了背面杂散光反射干扰的影响,大大提高了信噪比。对DRAM深沟槽样品进行反射光谱图测试与实验研究,表明所述方法与系统能够提取出纳米级精度的深沟槽参数。该技术提供了一种无接触、非破坏、快速、低成本和高精度的深沟槽结构测量新途径,在集成电路制造过程中的在线监测与工艺控制方面具有广阔的应用前景。
- 刘世元张传维沈宏伟顾华勇
- 关键词：动态随机存储器
- 一种微纳深沟槽结构测量方法及装置
- 本发明公开了一种微纳深沟槽结构测量方法及装置，能够同时测量微纳深沟槽结构沟槽深度、宽度和薄膜厚度。其方法是将红外光束投射到含有深沟槽结构的硅片表面，分析从深沟槽结构各分界面反射形成的干涉光得到测量反射光谱；采用等效介质理...
- 刘世元史铁林张传维顾华勇沈宏伟
- 文献传递
