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何辉辉

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：盐城工学院更多>>
发文基金：江苏省科技厅科技攻关项目江苏省高校自然科学研究项目江苏省高等学校大学生实践创新训练计划项目更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇晶片
  • 1篇蓝宝
  • 1篇蓝宝石
  • 1篇蓝宝石晶片
  • 1篇化学机械抛光
  • 1篇机械抛光
  • 1篇计算机
  • 1篇计算机仿真
  • 1篇仿真

机构

  • 1篇盐城工学院

作者

  • 1篇周海
  • 1篇王兵
  • 1篇汤云霞
  • 1篇何辉辉
  • 1篇陈西府
  • 1篇顾建峰

传媒

  • 1篇现代制造技术...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
蓝宝石晶片抛光过程运动仿真及实验分析被引量：5
2008年
本文分析了双面抛光机的抛光原理,建立了晶片在抛光过程中运动的数学模型,采用VC语言对双面抛光加工进行运动仿真,分析了不同参数对抛光效果的影响,获得了最合理的抛光运动参数,并且在抛光机上得到了验证。
王兵顾建峰何辉辉汤云霞周海陈西府冶远祥
关键词：蓝宝石化学机械抛光计算机仿真
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