余萍
- 作品数：3 被引量：12H指数：3
- 供职机构：西安工业学院材料与化工学院更多>>
- 发文基金：陕西省教育厅科研计划项目陕西省自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 热处理温度对ITO薄膜组织与光电性能的影响被引量：4
- 2004年
- 采用溶胶-凝胶工艺制备出纳米晶ITO透明导电薄膜。采用XRD和SEM分析了薄膜物相和显微形貌。采用面电阻仪和分光光度计测量了薄膜方阻和透光率。实验结果表明,随热处理温度升高,晶化趋于完整,组织逐渐均匀致密,晶粒有所长大,700℃热处理时薄膜完全晶化。另外,随热处理温度升高,方阻减小而透光率增加。经过700℃热处理,厚度400nm的ITO膜的方阻约300Ω/□,透光率>80%。
- 杨觉明张康虎余申卫余萍张海礁
- 关键词：铟锡氧化物透明导电膜方阻透光率
- 热处理温度对铟锡氧化物纳米粉显微结构的影响被引量：3
- 2002年
- 采用化学共沉淀法制备了铟锡氢氧化物纳米粉 ,对其热处理前后的粉体进行了XRD和TEM分析 ,结果表明 :未热处理的为铟锡氢氧化物 ,2 0 0℃热处理后铟锡氢氧化物部分晶化 ,30 0℃热处理后全部转变成晶态 ,然后随着温度升高逐渐转变为具有立方结构的铟锡氧化物纳米粉 ;6 0 0℃热处理 1h后粉末粒度为 5～ 10nm ,铟锡质量比接近 9∶1.铟锡氧化物颗粒接近球形 。
- 余萍杨觉明陈平
- 关键词：热处理温度铟锡氧化物纳米粉显微结构晶化温度化学共沉淀法
- 热处理对ITO薄膜的显微结构及光电特性的影响被引量：5
- 2005年
- 以硝酸铟和四氯化锡为源材料,无水乙醇和乙酰丙酮为溶剂,采用溶胶—凝胶工艺制备出纳米晶ITO透明导电薄膜.采用XRD和SEM分析了薄膜的物相和显微形貌,采用面电阻测量仪和分光光度计测量了薄膜的方阻和可见光透过率.实验结果表明,随着热处理温度升高,晶化程度提高,组织逐渐均匀致密,晶粒长大,700℃热处理时薄膜晶化趋于完善.同时,方阻减小而可见光透过率增加.经过700℃热处理、厚度为400nm的ITO膜的方阻约300Ω/□,可见光透过率>80%.
- 杨觉明余萍陈平张海礁许岗
- 关键词：铟锡氧化物透明导电薄膜方阻
