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孟筠旺

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院生态环境研究中心更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇电磁诱导
  • 1篇配气
  • 1篇配气系统
  • 1篇氪气
  • 1篇氟化
  • 1篇氟化镁
  • 1篇高通量

机构

  • 1篇中国科学院生...

作者

  • 1篇束继年
  • 1篇李曜
  • 1篇高绍凯
  • 1篇张阳
  • 1篇孟筠旺

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
高通量无极真空紫外光源
本发明公开一种高通量无极真空紫外光源，该光源由射频电源、射频调谐匹配装置、配气系统、气体缓冲腔、电磁诱导线圈、惰性气体激发管和氟化镁透镜窗片组成。其激发气体为氦、氖、氩、氪气、氙等惰性气体或其一定比例的混合气体。氟化镁透...
束继年孟筠旺高绍凯张阳李曜
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