您的位置： 专家智库 > >

张怀东

作品数：22 被引量：3H指数：1
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 19篇专利
  • 2篇科技成果
  • 1篇期刊文章

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇机械工程

主题

  • 6篇晶片
  • 5篇芯片
  • 5篇芯片制造
  • 4篇喷嘴
  • 4篇均匀性
  • 3篇显影
  • 3篇相机
  • 3篇半导体
  • 2篇电路
  • 2篇电路制造
  • 2篇定位销
  • 2篇动载
  • 2篇多路
  • 2篇液状
  • 2篇照相机
  • 2篇制程
  • 2篇喷洒
  • 2篇片盒
  • 2篇平面度
  • 2篇切边

机构

  • 22篇沈阳芯源微电...

作者

  • 22篇张怀东
  • 6篇郭聪
  • 3篇郑春海
  • 2篇徐春旭
  • 2篇宗润福
  • 2篇王绍勇
  • 2篇苗涛
  • 1篇侯宪华
  • 1篇李东海
  • 1篇汪明波
  • 1篇张军
  • 1篇陈焱
  • 1篇刘正伟
  • 1篇尹硕

传媒

  • 1篇中国高新科技

年份

  • 7篇2018
  • 3篇2017
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 2篇2010
  • 2篇2009
  • 3篇2008
共 22 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
集成电路制造匀胶显影设备
宗润福胡延兵徐春旭王绍勇郑春海张军苗涛陈焱张怀东李东海刘正伟
匀胶显影(又称Track系统)是集成电路制造的关键设备之一，用于集成电路制造光刻工艺中晶圆的涂胶和显影。该成果技术指标达到了预期目标：　　1.满足线宽工艺达到0.25微米　　2.涂胶考核均匀度：10000±25　　3.光...
关键词：
关键词：集成电路
全自动显影机
1．本外观设计产品的名称：全自动显影机。;2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于晶圆显影制造工艺。;3．本外观设计产品的设计要点：在于产品整体形状。;4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。
郭聪张怀东
一种方形基片和圆形基片兼容的定位结构
本发明涉及芯片制造加工前将基片对位的机械结构，具体的说是一种方形基片和圆形基片兼容的定位结构，包括驱动部、旋转轴及旋转摆臂，其中旋转摆臂通过旋转轴与驱动部相连，由驱动部驱动绕所述旋转轴转动；所述旋转摆臂上安装有多个用于定...
张怀东
文献传递
一种示教清洗一体盘
本实用新型涉及芯片制造用基片加工过程中对废液收集杯清洗的设备，具体地说是一种示教清洗一体盘，该示教清洗一体盘的底部开有与带动其旋转的吸盘相对应的凹槽，在所述示教清洗一体盘的侧壁上开有喷射清洗液的喷射孔。本实用新型使得清洗...
张怀东
文献传递
一种清除液体中气泡的结构
本发明涉及芯片制造用基片加工过程中化学品供应的管路结构，具体地说是一种清除液体中气泡的结构，包括内部带有分隔桶的缓存罐、接负压管、进液管及出液管，其中缓存罐的底部设有出液口、上部设有排气口、罐壁上开有进液口，出液口位于分...
张怀东
文献传递
匀胶机台
1．本外观设计产品的名称：匀胶机台。;2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于晶圆基片的涂胶显影工艺。;3．本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状。;4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。
张怀东尹硕
一种防止晶片翘曲的烘烤装置及其烘烤方法
本发明涉及在芯片制造用基片加工过程中对基片涂敷保护材料加热烘干的设备，具体地说是一种防止晶片翘曲的烘烤装置及其烘烤方法，装置包括上部加热盘、顶针、下部加热盘及工作台，下部加热盘安装在工作台上，在下部加热盘上插设有上下升降...
张怀东
文献传递
一种方形基片和圆形基片兼容的定位结构
本发明涉及芯片制造加工前将基片对位的机械结构，具体的说是一种方形基片和圆形基片兼容的定位结构，包括驱动部、旋转轴及旋转摆臂，其中旋转摆臂通过旋转轴与驱动部相连，由驱动部驱动绕所述旋转轴转动；所述旋转摆臂上安装有多个用于定...
张怀东
文献传递
可保持气密性的载片装置
本发明涉及半导体行业晶圆的工艺制程中装载晶圆的结构，具体地说是一种可保持气密性的载片装置。包括基座、密封罩、片盒门、传动杆、片盒门连杆及片盒门锁紧机构，其中密封罩设置于基座上，形成结构主体，所述基座上设有开口，所述片盒门...
符平平张怀东
文献传递
多分区热盘结构
本发明涉及半导体晶片加工技术，具体地说是多分区热盘结构，解决热盘表面温度的均匀性不好，不能满足高精度加热的要求等问题。热盘中设有上盘和下盘以及安装于上下盘中间的加热片，加热片分成多个区，每个区设有独立的温度传感器。本发明...
张怀东
文献传递
全选 清除 导出
共3页<123>
聚类工具0