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李兴无

作品数：5 被引量：5H指数：2
供职机构：西北工业大学更多>>
相关领域：理学一般工业技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 4篇理学
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 5篇金刚石薄膜
  • 2篇形貌
  • 2篇原子
  • 2篇氢原子
  • 2篇化学气相
  • 2篇化学气相沉积
  • 1篇硬质
  • 1篇硬质合金
  • 1篇预处理
  • 1篇石墨
  • 1篇石墨粉
  • 1篇气相沉积
  • 1篇热丝
  • 1篇热丝化学气相...
  • 1篇结合力
  • 1篇金刚石
  • 1篇晶体
  • 1篇晶体形貌
  • 1篇工艺参
  • 1篇工艺参数

机构

  • 5篇西北工业大学

作者

  • 5篇李兴无
  • 4篇郑修麟
  • 4篇张贵锋
  • 4篇耿东生

传媒

  • 2篇西北工业大学...
  • 1篇机械科学与技...
  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇1998
  • 1篇1997
  • 2篇1996
  • 1篇1995
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
涂石墨粉增强金刚石薄膜形核密度的研究被引量：1
1996年
涂石墨粉增强金刚石薄膜形核密度的研究张贵锋，耿东生，李兴无，郑修麟关键词ＣＶＤ（化学气相沉积），预涂层，石墨粉，金刚石膜中图分类号ＴＢ４３微电子学等领域的应用往往要求金刚石选择性生长；而作为耐磨硬质涂层，要求最大限度地提高形核密度，以便获得连续、均匀...
张贵锋耿东生李兴无郑修麟
关键词：石墨粉金刚石薄膜CVD
金刚石薄膜形貌的控制被引量：2
1998年
用热丝CVD法，以甲烷和氢气为气源，制备出了优质的金刚石薄膜。研究了沉积工艺参数对金刚石薄膜形貌的影响。结果表明：降低碳源浓度或升高衬底温度，沉积的金刚石薄膜呈现以三角形为主的形貌；反之，沉积的金刚石薄膜则呈现以四方形为主的形貌。
耿东生张贵锋李兴无郑修麟
关键词：金刚石薄膜工艺参数形貌
金刚石薄膜与 WC-Co 硬质合金的附着性研究被引量：2
1997年
以甲烷和氢气为气源，用热丝ＣＶＤ法，在ＷＣ－６％Ｃｏ的硬质合金基体上沉积金刚石薄膜。研究了基体表面经抛光、腐蚀、脱碳及镀中间层等不同的预处理对金刚石薄膜与基体的附着性的影响。试验结果表明：基体表面经抛光、腐蚀再经脱碳或镀ＴｉＮ中间层，可改善和提高附着性，金刚石薄膜的形核率和沉积速率有所降低；基体表面只经抛光、腐蚀预处理，金刚石薄膜的形核率和沉积速率较高，结晶性好，但附着性较差；采用分段沉积，可以提高金刚石薄膜的附着性。
耿东生张贵锋李兴无郑修麟
关键词：金刚石薄膜硬质合金预处理附着性
热丝CVD法沉积金刚石薄膜的研究
该文采用热丝化学气相沉积(CVD)法,以CH<,4>和H<,2>为气源,研究了金刚石薄膜的形成过程,工艺参数对薄膜质量的影响,以及金刚石薄膜和硬质合金基体的结合力问题,为金刚石薄膜的扩大应用提供理论与实践依据.研究结果表...
李兴无
关键词：热丝化学气相沉积金刚石薄膜氢原子晶体形貌结合力
氢原子侵蚀作用的研究
1995年
通过热力学计算和动力学分析，研究了热丝ＣＶＤ金刚石薄膜沉积过程中，氢原子对石墨相和金刚石相的侵蚀作用。结果表明：当衬底温度在８２３Ｋ～１２７３Ｋ间变化时，氢原子和石墨相反应的表观活化能小于氢原子和金刚石相反应的表观活化能．这是氢原子更易侵蚀石墨相的原因所在。
李兴无耿东生张贵锋郑修麟
关键词：金刚石薄膜氢原子化学气相沉积
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