李广泽
- 作品数：4 被引量：17H指数：2
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 反应溅射Ti(O,N)涂层的微结构与力学性能被引量：2
- 2007年
- 采用反应磁控溅射方法在Ar、N2和O2混合气氛中制备了一系列Ti(O,N)涂层,并采用EDS、XRD、SEM、AFM和微力学探针研究了氧分压对涂层的化学成分、微结构和力学性能的影响。结果表明:随混合气氛中氧分压的提高,涂层中的氧含量逐步增加,氮含量相应减少,但涂层始终保持与TiN相同的NaC l结构。少量氧的加入,可以改善涂层的结晶状态,涂层的硬度也相应升高,明显高于未含氧的TiN涂层的硬度。氧含量为8.0%(原子数分数)时,涂层硬度达到最大值26.2 GPa。进一步增加氧含量,涂层的硬度基本保持不变。
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- 关键词：反应磁控溅射微结构力学性能
- TiN/zrN纳米多层膜的微结构与力学性能
- 氮化物纳米多层膜的高硬度在耐磨领域的重要应用潜力,使其成为超硬材料和薄膜材料的研究热点。二十年来,利用纳米多层膜界面效应引起的硬度异常增高、裂纹扩展受阻等特性,获得了许多具有超硬效应的材料体系,在探索纳米多层膜的超硬机制...
- 李广泽
- 关键词：纳米多层膜微结构力学性能
- 文献传递
- 反应磁控溅射碳化钒薄膜的微结构与力学性能被引量：12
- 2009年
- 在Ar、C2H2混合气氛中通过反应磁控溅射法制备了一系列不同碳含量的碳化钒薄膜,利用EDX、XRD、SEM、AFM和微力学探针表征了薄膜的微结构和力学性能。研究了C2H2分压对薄膜成分、相组成、微结构以及硬度和弹性模量的影响。结果表明,采用在Ar-C2H2混合气体中的射频反应磁控溅射技术可以方便地合成碳化钒薄膜。但是,只有在C2H2分压为混合气体总压约4%附近很窄的范围内才可获得力学性能优异的碳化钒薄膜。其硬度和弹性模量分别达到35.5GPa和358GPa,此时,薄膜为NaCl结构的VC,且具有柱状生长的特征。随着C2H2分压的提高,薄膜形成六方结构的-γVC,并逐渐产生非晶碳相,硬度和弹性模量随之降低。
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- 关键词：碳化钒硬质薄膜微结构力学性能磁控溅射
- TiN/ZrN纳米多层膜的微结构和力学性能
- 李广泽
