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杨允利

作品数:2 被引量:7H指数:2
供职机构:哈尔滨工业大学机电工程学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:金属学及工艺电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇等离子
  • 2篇等离子体
  • 2篇等离子体加工
  • 2篇数控
  • 2篇光学零件
  • 2篇大气等离子体
  • 1篇数控加工
  • 1篇数控加工系统
  • 1篇去除函数
  • 1篇微结构
  • 1篇超精
  • 1篇超精密
  • 1篇超精密加工

机构

  • 2篇哈尔滨工业大...

作者

  • 2篇杨允利
  • 1篇王波
  • 1篇袁野
  • 1篇李娜
  • 1篇金会良

传媒

  • 1篇光学精密工程

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2011
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
大气等离子体加工数控方法研究
现代光学技术的发展对光学零件的要求越来越高,不但要求光学零件具有高的面型精度以及好的表面粗糙度,而且要求尽可能减轻亚表层的损伤。虽然目前的计算机控制光学表面成形(CCOS)工艺较传统的加工方式在很大程度上提高了加工的效率...
杨允利
关键词:大气等离子体去除函数光学零件超精密加工
文献传递
微结构光学零件的大气等离子体数控加工被引量:5
2013年
为了实现对微结构光学零件无表面损伤和亚表面损伤的高效加工,建立了大气等离子体数控加工系统。研究了该系统的平台设计、大气等离子体加工工艺特性及其数控加工过程。首先,根据大气等离子体加工的原理及要求介绍了该数控加工系统的组成。然后,以He/SF6/O2加工熔融石英为例,采用针状电极等离子体矩对系统加工工艺的可控性以及多参数工艺特性进行了探索,并根据工艺实验结果拟合出该加工条件下的去除函数。最后,介绍了整个大气等离子体数控加工的实现过程。实验结果表明:利用该系统可以在平面融石英材料上加工出幅值为150nm、波长为6mm的正弦网格结构,由此验证了该数控加工系统的可行性,实现了对复杂面型光学零件表面的确定性加工。
李娜王波金会良袁野杨允利
关键词:数控加工系统
共1页<1>
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