杨炜
- 作品数：49 被引量：67H指数：6
- 供职机构：厦门大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项福建省自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程化学工程文化科学更多>>
- 一种光学元件定点蚀刻及观测装置
- 一种光学元件定点蚀刻及观测装置，涉及光学元件。设有支架、三维移动平台、三维移动平台直线电机、光学元件夹具、蚀刻结构、伺服电机、Z轴承载板、显微镜和计算机；三维移动平台设于支架上方，光学元件夹具安装于支架上端台面上，蚀刻结...
- 郭隐彪叶卉杨炜
- 文献传递
- 快速抛光技术接触压力建模与仿真被引量：1
- 2012年
- 快速抛光技术不但可提高加工速度,还能保证抛光精度,是实现超精密平面光学元件批量化加工的最有效加工方式.通过对快速抛光原理的分析,建立了工件与抛光垫之间的弹性力学模型,分析了载荷条件和边界位移条件,并以此为基础建立了工件与抛光垫的有限元模型.通过仿真分析得出了接触压力的分布情况,并通过抛光实验验证了仿真结果,为研究快速抛光技术提供了实验理论依据.
- 陈真杨炜郭隐彪
- 关键词：接触压力
- 一种原子束填充加工装置
- 一种原子束填充加工装置，涉及一种工件表面加工方法。设有底座、直线电机、X轴承载板、Y轴承载板、支柱、横梁、Z轴承载板、旋转圆盘、固定座、伺服电机、原子束发生装置、原子束能量控制装置和准直装置；直线电机固定在底座上并与X轴...
- 杨炜王春锦吴沿鹏郭隐彪
- 文献传递
- 基于分形维数的光学表面质量评价及响应曲面模型
- 2014年
- 针对光学元件表面的微观形貌结构呈现出随机性、无序性和多尺度性,反映出一种非平稳的随机过程.针对这一问题,利用光学元件表面具有微观结构上的统计自相似性特征,首先通过结构函数法计算光学表面的分形维数,分析了分形维数与表面传统评价参数峰谷(PV)值近似线性的关系,验证了可以利用分形维数来评价光学元件表面精度;其次,建立了分形维数与抛光参数的响应曲面回归模型,为了通过控制显著性较强的抛光参数来获取更好的光学元件表面质量,评价了各抛光参数对分形维数的影响权重.
- 董之然杨炜
- 关键词：光学表面分形维数响应曲面法
- 一种在线可控抛光装置
- 一种在线可控抛光装置，涉及一种化学机械抛光设备。设有浮动盘、伸缩架、引导滑块、调节滑块、可拆卸夹持工具、压电传感器、底座和电磁铁；所述浮动盘上设有6条滑槽，伸缩架顶端与引导滑块相连，引导滑块嵌入滑槽内，伸缩架底端与调节滑...
- 郭隐彪吴沿鹏杨炜叶卉
- 文献传递
- 一种在线可控式光学元件刻蚀装置
- 一种在线可控式光学元件刻蚀装置，涉及光学元件刻蚀装置。设有缓冲液存储容器、刻蚀反应发生装置、伺服电机、密封盖、可旋转多功能夹具、在线浓度计、恒温箱；不同容器内装不同刻蚀溶液，容器下端通过导管与密封盖相连，导管直接通入刻蚀...
- 叶卉胡陈林杨炜杨平郭隐彪
- 文献传递
- 一种光学元件抛光装置
- 一种光学元件抛光装置，涉及抛光装置。设有抛光液存储容器、调节阀、轴承、抛光头、湿度传感器、光学元件夹具、抛光盘、防护罩、导管、水泵、过滤器和喷头；抛光液存储容器中心与抛光头主轴间相连；抛光液存储容器底部设三段弧形开口，调...
- 叶卉杨炜梁恺杨平郭隐彪
- 文献传递
- 三轴可调倾角的非球面加工夹具
- 三轴可调倾角的非球面加工夹具，涉及一种夹具。提供一种通用性好、结构紧凑、定位精度高、使用方便的三轴可调倾角的非球面加工夹具。设有工作台、中间板、底座、回转底板、工作台回转电机、中间板回转电机、底板回转电机、工作台回转电机...
- 郭隐彪柯晓龙杨炜张世汉
- 一种用于大口径平面光学元件抛光的可调式压力装置
- 一种用于大口径平面光学元件抛光的可调式压力装置，涉及一种压力装置。提供一种用于调节工件的抛光面在加工时所受的压强，不仅可改善工件的抛光质量和控制材料去除率，而且结构简单且实用的用于大口径平面光学元件抛光的可调式压力装置。...
- 郭隐彪姜晨杨炜唐旎潘日
- 文献传递
- 用于大口径光学元件精密检测平台的空间误差计算方法
- 用于大口径光学元件精密检测平台的空间误差计算方法，涉及光学元件检测。将空间误差分解为X、Y平面内误差和该平面沿Z轴运动后由Z轴所引起的误差，综合利用这两部分误差值，通过分别对X、Y两轴联动误差、Z轴定位误差进行多项式拟合...
- 郭隐彪张东旭杨平杨炜王詹帅
