查良镇
- 作品数：88 被引量：286H指数：13
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信理学环境科学与工程更多>>
- 超高真空下清洁硅表面二次离子质谱的研究
- 1989年
- 超高真空下keV能量一次氩离子轰击下清洁硅表面二次离子发射的实验研究是二次离子质谱(SIMS)最重要的一种基础研究,它不仅可以支持分析应用,还可用于检验某些理论发射模型。尽管有许多作者开展了这项研究并已取得了一些重要的研究成果,但重复可靠和系统的研究尚不多见。本文收集、比较并评述了迄今为止已发表的主要实验研究结果,讨论了为得到重复可靠实验结果遇到的主要困难。在改善的实验条件下对超高真空下清洁硅表面二次离子质谱进行了系统的实验研究。本文将介绍主要研究结果并进行一些讨论。
- 查良镇阿诺德巴赫尔
- 关键词：硅表面离子发射SIMS氩离子
- 真空测量、质谱分析和检漏技术的一些进展
- 自从一九九七年八月在成都由中国计量测试学会真空测量专业委员会与中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会首次联合召开全国真空测量、质谱分析和检漏会议以来,经过两个学会的换届,分别建立了新的专业委员会,再次联合召开学会会议。现就...
- 查良镇
- 文献传递
- 用四极型SIMS对砷化镓中硅定量分析的研究
- 1994年
- ＧａＡｓ中Ｓｉ的定量分析是典型的ＳＩＭＳ分析课题，有明确的应用背景。文中对影响ＳＩＭＳ定量分析的一些基本因素进行了实验研究，用Ｏ２＋源和Ｃｓ＋源对均匀掺硅和离子注入硅的ＧａＡｓ样品进行了定量分析，考察了实验的稳定性。
- 姜志雄查良镇陈新陈春华王佑祥
- 关键词：二次离子质谱砷化镓硅
- 铝镓砷中硅δ掺杂的SIMS分析
- 1995年
- 评述了国际上δ掺杂样品SIMS分析的现状，研究了相关的基础实验技术，讨论了分析硅δ掺杂的AlGaAs样品时，选择高质量分辨及对不同一次离子能量下相对灵敏度因子进行核准的必要性，考察了一次束的展宽效应和δ掺杂层位置的微分飘移，对硅δ掺杂的AlGaAs样品用O源进行了定量分析，并对结果作了讨论。
- 姜志雄查良镇M.SchuhmacherD.Renard
- 关键词：二次离子质谱铝镓砷Δ掺杂
- 二次离子质谱学的最新进展──第9届国际二次离子质谱学会议评述被引量：2
- 1995年
- 二次离子质谱学（ＳＩＭＳ）以其很高的灵敏度、很宽的动态范围和优良的深度分辨已逐步发展成为一种重要而有特色的表面分析手段。本文结合第９届国际二次离子质谱学会议（ＳＩＭＳ－ＩＸ）对ＳＩＭＳ的最新进展作一个简要评述，范围包括ＳＩＭＳ的各个方面：基础研究、仪器发展、定量分析、应用以及后电离技术等。
- 邹庆生查良镇
- 关键词：SIMS
- 方向规用于空间站检漏的探讨被引量：5
- 2013年
- 泄漏监测是在轨空间站长期可靠运行必须解决的难题,本文开展了方向规用于空间站检漏的应用基础研究。在地面真空实验系统上,用小孔向真空室引入气体模拟空间站泄漏,通过磁力传动系统改变方向规入口法线与小孔中心线夹角模拟与空间站泄漏点的方位,通过调整方向规在刻度尺上的位置模拟与空间站泄漏点的距离。在通过漏孔漏率分布服从余弦定律的条件下,研究结果表明用方向规对可疑泄漏点进行扫描,在一定范围内可确定漏孔位置并估计漏率大小,最后讨论了将方向规用于空间站检漏需要进一步研究解决的相关问题。
- 卢耀文陈旭李得天闫荣鑫冯焱成永军赵澜齐京查良镇
- 关键词：空间站检漏
- 便携式真空漏孔校准装置被引量：19
- 2013年
- 针对现场检漏对漏率校准的需求，研制出具有体积小、重量轻、成本低等特点的便携式真空漏孔校准装置。采用标准流量系统提供可调的气体流量，通过质谱计作为比较器分别测量标准气体流量和被校准漏孔提供示漏气体（He气）的分压力实现校准。标准气体流量系统采用直径约为1μm的小孔获得了10^-10m3／s量级的分子流导，仅用一台满量程为1．33×104Pa的电容薄膜规真空计（coc）作为参考标准，通过直接测量和膨胀衰减压力两种方法为小孔入口提供标准压力，从而获得较宽范围的标准气体流量。研究结果表明，装置的校准范围为3．5×10^-6-4．6×10^-11Pa·m3／s，合成标准不确定度为1.8％～2．O％，外形尺寸减小到400mm×300mm×400mm，总重量小于35奴。
- 卢耀文陈旭李得天刘波齐京查良镇
- 关键词：真空漏孔校准
- 飞行时间二次离子质谱——强有力的表面、界面和薄膜分析手段被引量：31
- 2002年
- 《真空》杂志是中国学术期刊中重要的核心刊物 ,在加入 WTO后 ,为了更好与国际接轨 ,为广大读作者服务 ,本刊将逐步向双语刊物过渡。在这一期 ,特邀真空界著名学者 :真空杂志编委会副主任、清华大学查良镇教授与曾任德国真空学会主席、第十一届国际真空会议主席和真空杂志社编委会国际顾问 阿·贝宁豪文教授合作撰写的“飞行时间二次离子质谱”一文 ,用双语发表 ,这种改革是否妥当 ,请广大读者赐教。
- 阿尔弗来德.贝宁豪文查良镇
- 关键词：微电子学生命科学
- 中频反应溅射SiO_2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀被引量：5
- 2002年
- 多数 ITO透明导电玻璃生产线在实现 Si O2 膜与 ITO膜在线联镀时 ,应用 Si O2 靶射频溅射沉积 Si O2膜工艺和 ITO靶直流溅射沉积 ITO膜工艺 ,如果 Si O2 膜应用硅靶反应磁控溅射工艺 ,存在这种工艺是否可以与 ITO靶直流溅射沉积 ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工 ,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究 ,成功地实现反应溅射 Si O2 膜与 ITO膜在线联镀 ,做到Si O2 镀膜室的工作状态的变化基本上不影响
- 许生侯晓波范垂祯赵来周海军吴克坚高文波颜远全查良镇
- 关键词：SIO2膜ITO膜二氧化硅透明导电玻璃镀膜工艺
- 便携式真空计校准装置被引量：24
- 2013年
- 为了解决许多应用领域对真空度的现场校准需求,研制出便携式真空计校准装置。采用直径为200mm的球形容器作为校准室,用两台不同量程的电容薄膜真空计作为参考标准。为实现宽量程校准,装置集成了静态比对法、静态膨胀法及动态流量法三种校准方法。实验结果证实该装置的校准范围可达1×105~4×10-6Pa,合成标准不确定度为1.3%~4.7%。装置的外形尺寸为450mm×400mm×750mm,总重量小于40 kg。总之,该装置具有体积小、重量轻、便携和成本低等优点。
- 卢耀文陈旭李得天齐京查良镇
- 关键词：真空计校准
