汝丽丽
- 作品数：6 被引量：11H指数：1
- 供职机构：深圳大学更多>>
- 发文基金：广东省自然科学基金深圳市科技计划项目国际热核聚变实验堆计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学化学工程自动化与计算机技术更多>>
- 微波ECR等离子体辅助磁控溅射制备类金刚石薄膜研究
- 汝丽丽
- 关键词：类金刚石薄膜磁控溅射
- 微波ECR等离子体增强磁控溅射多晶硅薄膜研究
- <正>多晶硅薄膜是制备多晶硅薄膜光伏电池的关键器件,其在长波段具有高光敏性,对可见光能有效吸收,且具有与晶体硅相同的光照稳定性,被认为是一种高效、低耗、无毒、理想的光伏器件材料。为了实现在廉价衬底(普通玻璃等)上高速、高...
- 汝丽丽黄建军孟月东
- 关键词：磁控溅射多晶硅薄膜
- 文献传递
- 氦等离子体前处理对多晶硅薄膜性能的影响
- 2013年
- 采用微波电子回旋共振等离子体增强磁控溅射(microwave electron cyclotron resonance plasma-enhanced magnetron sputtering,ECR-PEMS)和电子回旋共振等离子体辅助化学气相沉积(microwave electroncyclotron resonance chemical vapor deposition,ECR-CVD)技术,分别在单晶硅片(100)基底上低温制备了多晶硅薄膜.采用拉曼光谱仪、X射线衍射仪以及原子力显微镜对薄膜微观结构及表面形貌进行表征,研究纯氦等离子体基底前期处理对所沉积薄膜性能的影响.结果表明,氦等离子体前处理技术能大幅提高多晶硅薄膜结晶度和颗粒尺寸,明显改善ECR-CVD法所得多晶硅薄膜的微观结构特性和表面形貌.
- 汝丽丽孟月东陈龙威
- 关键词：等离子体物理多晶硅薄膜电子回旋共振等离子体增强氦等离子体化学气相沉积
- 微波ECR等离子体增强磁控溅射多昌硅薄膜研究
- 汝丽丽黄建军孟月东
- 关键词：磁控溅射多晶硅薄膜
- 离子束溅射制备CuInSe_2薄膜的研究被引量：10
- 2009年
- 利用离子束溅射沉积技术,设计三元复合靶,直接制备CuInSe2(CIS)薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和分光光度计检测在不同衬底温度和退火温度条件下制备的CIS薄膜的微结构、表面形貌和光学性能。实验结果表明:使用离子束溅射沉积技术制备的CIS薄膜具有黄铜矿结构,在一定的条件下,适当温度的热处理可以制备结构紧密、颗粒均匀、致密性和结晶性良好的CIS薄膜,具有强烈的单一晶向生长现象。
- 范平郑壮豪张东平梁广兴蔡兴民汝丽丽李红奕
- 关键词：离子束溅射CIS薄膜衬底温度退火温度
- 核聚变实验中相似波形智能检索方法研究综述被引量：1
- 2014年
- 随着核聚变实验数据量的与日俱增,需要针对相似波形开发智能检索方法来加速数据识别和分析。波形的相似性查询包括全序列相似查询和子序列相似查询2个方面。日本的LABCOM小组和欧盟的JET-EFDA小组在这方面做了大量的研究工作,并取得一系列成果。通过详细评述波形相似性查询方法的基本思想和关键技术,对这些方法进行分析和比较,总结了这些方法的优点和不足,并对进一步的研究方向作出了展望。
- 刘英黄建军齐冰汝丽丽王凡
- 关键词：核聚变数据检索时间序列
