您的位置： 专家智库 > >

沈雪谨

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：上海大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇MEMS

机构

  • 3篇上海大学

作者

  • 3篇赵江铭
  • 3篇沈雪谨
  • 3篇陈晓阳
  • 3篇张永宇

传媒

  • 1篇中国机械工程
  • 1篇中国微米纳米...

年份

  • 3篇2005
共 3 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
单侧支撑静电硅微谐振器的试验研究
本文对设计梁长120μm、梁宽2μm的单侧折叠梁微谐振器进行试验研究,测定了常温常压下的谐振频率、品质因子以及不同电压下的谐振振幅,并与相同条件下、相同梁长的双侧支撑微谐振器的试验结果进行了对比.研究表明:谐振振幅是直流...
赵江铭沈雪谨张永宇陈晓阳
关键词：MEMS
文献传递
单侧支撑静电硅微谐振器的试验研究
对设计梁长120μm、梁宽2μm的单侧折叠梁微谐振器进行试验研究,测定了常温常压下的谐振频率、品质因子以及不同电压下的谐振振幅,并与相同条件下、相同梁长的双侧支撑微谐振器的试验结果进行了对比。研究表明:谐振振幅是直流偏置...
赵江铭沈雪谨张永宇陈晓阳
关键词：MEMS
文献传递
单侧支撑静电硅微谐振器的试验研究被引量：1
2005年
对设计梁长120μm、梁宽2μm的单侧折叠梁微谐振器进行试验研究,测定了常温常压下的谐振频率、品质因子以及不同电压下的谐振振幅,并与相同条件下、相同梁长的双侧支撑微谐振器的试验结果进行了对比.研究表明:谐振振幅是直流偏置电压的线性函数,是交流驱动电压的二次幂函数;相同条件下,单侧支撑微谐振器的振幅输出大于双侧支撑微谐振器的振幅输出.
赵江铭沈雪谨张永宇陈晓阳
关键词：MEMS
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0